121731. lajstromszámú szabadalom • Elektronoptikai rendszer extrém kicsiny, élesen körülhatárolt égőfoltoknak az ernyőn való előállítására

2 1217i>l. a katóda átmérője. (A szükséges méret körülbelül 0.3 mm). Ezenkívül kell, bogy az (L) lencsének nagy tűrőképessége le­gyen, hogy a (B) ernyő nyílását a rendel-5 kezesre álló katódaemisszió teljes egészé­ben megvilágítsa. Nem okoz nehézséget az ilyen lencse előállítása, úgy, hogy ilyenek­kel eddig is dolgoztak. Az ilyen erős ívelt­ségű lencsék azonban a katódát az ernyő 10 síkjában különösen a szferikus aberráció következtében hibásan képezik le. Ezen­kívül az elektronsugárnyalábnak az erő­sen törő (L) lencse hatása következtében nagy * aperturája van, úgy, hogy a nya-15 lábnak a (B) rekesz nyílásán való kilépése után a sugarak a (HL) íőlencsének a ten­gelytől távoli részeire is esnek, aminek az eredménye ismét a rekesznyílásnak az er­nyő síkjában való hibás leképezése. Ez a 20 hátrány még akkor is bekövetkezik, ha a főleincsének kicsiny görbülete van. A találmány célja ezeknek a hátrányok­nak a megszüntetése. A találmány értei­mében a főlencsével leképezendő rekesz-25 nyílást az 1. ábrában feltüntetett ismert megoldástól eltérően nem a katódának a rekesz nyílásában való egyszeri leképezé­sével érjük el, hanem a találmány értel­mében a katódát fokozatosan kisebb ké-80 pékben képezzük le oly módon, hogy elő­ször a katódának egy kisebbített képét vetítjük megfelelő nyílású rekeszre. Ennek a rekesznek a nyílása azonban nagyobb kell, hogy legyen, mint annak a rekesznek 35 a nyílása, amelyet a főlencse az ernyőn képez le. A katódának ezt az első képét azután ismét kisebb mértékben képezzük le megtelelő nagyságú nyílással ellátott rekeszen. Szükség esetén további, a fen-40 tiekhez hasonlóan kivitelezett kisebbítő fo­kozatokat alkalmazhatunk, amelyek mind­egyikében a képsíkban levő rekesznyílás kisebb mint a megelőző fokozat rekesz­nyílása. Az utolsó rekesz nyílását a fő-45 lencse az ernyőn képezi le. A találmányt és az azzal elért előnyöket a 2—6. ábrákban feltüntetett különböző ki­viteli példák kapcsán magyarázzuk. Az azonos alkatrészeket valamennyi ábrában 50 azonos hivatkozási betűkkel jelöltük. A 2. ábrában is a (K) és a t (W) hivall­kozási betűk a katódát, illetőleg a Wehnett-hengert jelölik. A Wehnelt­hengert olyan feszültségre kapcsoljuk, il-55 letőleg úgy rendezzük el, hogy az 1. ábra­beli megoldástól eltérőéin csak gyengén törő lencsét kapunk, melynek segélyével a katódának egy kisebbített képét vetítjiülk az (A) rekesz nyílásába. Ez az első nyílás, amelyben a katódát leképezzük, abban az. 60 esetben, ha például ugyanazt a képnagysá­got kívánjuk elérni és ugyanazzal a sor­számmal kívánunk dolgozni, mint az 1. ábrabeli esetben, nagyobb mint az 1. ábrá­ban feltüntetett (B) rekesz nyílása. Erre 65 a rekeszre következik egy további lencse, amely a (C) elektródán létesül, mely elek­tróda az (A) és a _(B) rekeszektől eltérő ' más potenciálra van kapcsolva ós amely elektróda az (A) rekesz nyílásának kiseb- 70 bített képét vetíti a (B) elektróda meg­felelően kisebb nyílására. Ez a nyílás ugyanakkoraj mint az 1. ábrabeli (B) elek­tróda nyílása és azt a (HL) főlencse az ernyőre képezi le. Az (A) és (B) elektró- 75 dák között a kép kisebbítése, úgy amint azt a 2. ábrában feltüntettük, oly módon esz közöl be tő, hogy az (A) és (B) rekesze­ket azonos potenciálokra kapcsoljuk és a (C) elektródát a két (A) és (B) rekesz: 5*0 között előre meghatározott helyen rendez­zük el. Eljárhatunk azonban úgy is, amint azt a 3. ábra mutatja, amikor a (C) elek­tródát az (A) és a (B) rekeszek között középütt helyeztük el, amikor azonban az 85 (A) és (B) ernyők különböző potenciálokra vannak kapcsolva, nevezetesen a (B) elek­tróda potenciálja nagyobb, mint az (A) elektróda potenciálja. Ha a (B) elektró­dának a (HL) főlencsével leképezendő nyí- 90 lása ugyanolyan átmérőjű mint az 1. ábra­beli "(B) elektróda leképezendő nyílása, úgy mégis csak a most leírt szerkezettel lehet valóban élesen körülhatárolt, fent megadott méretű égőfoltot előállítani. En- 95 nek oka abban van, hogy a leképezendő nyílású (B) rekesz előtt létesített két len­cse mindegyike kisebb görbületi! felületek­kel határolt, úgy, hogy sem az (A) kép­síkban, sem a (B) képsíkban nem kapunk 100 hibás (torzított) képet. De nem keletkez­hetnek a lencse okozta hibák a főlencse adta leképezésben sem, mert a sugárnyaláb a főlencsébe is igen kicsiny aperaturával lép be. Így tehát az égőfolt képe nem mo- 105 sódik el. A vezérlő potenciálokat a 2. ábrában fel­tüntetett megoldásnál a katódát követő má­sodik lencse (C) elektródájára kapcsoljuk. Ennek az az előnye van, hogy a (B) rekesz 110 nyílásából, a vezérlőfeszültségek nagysá­gától függetlenül, mindenkor csak állandó tengelyirányú sebességgel haladó elektro­nok lépnek ki, úgy, hogy az égőfolt modu­láláskor sem! válik életlenné. A hengeres 115 Wehnelt-lencse helyett természetesen minit a katódára következő első lencsét, más lencséket is használhatunk. A x (C) elek-

Next

/
Thumbnails
Contents