121045. lajstromszámú szabadalom • Elektronoptikai leképezőberendezés
2 121045. zetre korlátozódik, vagy pedig, ha elektronok tényleg nagy területről lépnek ki, akkor általában a tengelytől nagyobb távolságra kilépő elektronok a leképez,ő-5 elektródákra ütődnek fel, melyek a látómező rekeszeként hatnak. E hátrányokat megfelelően kialakított finom sz;emű hálókkal vagy oly fóliákkal, melyek az elektronokat egész körzetükben egyenlő letesen bocsájtják át, kiküszöbölhetjük. A találmányt bővebben a rajz kapcsán magyarázzuk el, mely a találmány szerinti leképezőrendszer néhány példakénti kivitelét mutatja. 45 Az 1. ábrán (K) jelenti az elektronokat emittáló és leképezendő nagyfelületű katódáí. A hálóelektródát, mely egyúttal anóda is (A)-val és a világítóernyőt (L)-el jelöltük. A potenciálokat úgy vá-50 iaszthatjűk, hogy pl. (A) anóda (K) katódával szemben 5 kV feszültségre és (L) ugyanarra vagy nagyobb potenciálra van kapcsolva. Az. ábrán továbbá a kialakuló ekvipotenciális vonalakat és a katóda 25 egyik pontjáról kiinduló sugármenetet is felrajzoltuk. A potenciálmezőből és a sugármenetből a berendezés lencsehatását láthatjuk. Míg az 1. ábra szerinti példában azt 30 az esetet tételeztük fel, hogy a háló lencseelektródaként van kialakítva és eltekintve a katódától és a világítóernyőtől az egyetlen lencseelektródát alkotja, a 2. ábrán oly esetet tüntettük fel, midőn 35 a háló csupán a katóda elektroncmissziójának a növelésére való. Az (N) háló ez esetben sík felületű és a (K) katóda előtt van elrendezve. A tulajdonképeni leképezésre a lépcsős potenciálokra kapcsolt 40 henger-alakú (Zl f Z2 ) és (Z3 ) elektródák valók. Ezeket az elektródákat a katódával szemben pl. 0.3, 0.9 és 5 kV feszültségre kapcsolhatjuk, az (N) hálónak a katódával szemben az elülső hengerek-45 nél célszerűen nagyobb pl. 2 kV feszültsége van. A hálót azonban többnyire az egyéb elektródákkal létesített lencsemezők javítására, illetve támogatására használjuk. 50 Villamos és mágneses lencsékkel kombináltan is ugyancsak alkalmazható. A 3. és 4. ábra szerint az (N) hálót további hengeres (A) elektródával kombináltan használjuk. A (K) katóda és az (A) anóda 55 között kialakuló potenciálmezőt a háló görbülete befolyásolja. Míg a 4. ábrán oly esetet tüntettünk fel, melynél a háló hatására a (K) katóda előtt gyűjtőlencsehatást érünk el, bizonyos esetekben előnyös, ha a hálót a katódával szemben 6( homorúan görbítjük, hogy előbb szóróhatás létesüljön. A leképezésre szükséges g'yüjtőhatást a háló és a hengeralakú (Á) anóda közötti mezővel létesíthetjük. Különös előnnyel használhatjuk a 6E hálót korrigált elektronlencsék létesítésére. A korrekció a geometriai hiba pl. a szferikus aberráció, vagypedig a kromatikus hiba kiküszöbölésére vonatkozhatik. A kromatikus hiba kiküszöbö- 7( lésénél fontos, hogy a hálókkal szórórendszerek létesíthetők, míg háló nélkül működő lencsék, ha mezőmentes térben vannak, miként ismeretes, mindig gyűjtőlencséket alkotnak. 7E Az 5. és 6. ábrából lathatjuk, miként lehet megfelelő kialakítással a lencsemezőt korrigálni. Az 5. ábra nem korrigált lencseelrendezést szemléltet, melynél a hálóeleklróda gömbcsésze alakú. 8C A 6. ábra ugyanazt, azonban a hálóelektróda különleges kialakításával korrigált rendszert muta! ja. Természetes, hogy valamely rendszer korrekciója csak akkor következhetik be, ha egyébként változat- 8E lan potenciáloknál és az elektródáknak egymástól való változatlan távolsága és változatlan alakja mellett, a hálónak meghatározott alakot adunk a többi elektródához viszonyítva meghatározott rendszerben rendezzük el és az egyéb potenciálokhoz képest meghatározott potenciállal látjuk el. A találmány szerinti leképezőrendszert mindenütt alkalmazhatjuk, ahol az eddig 95 ismeretes leképezőrendszereket alkalmazták, tehát kiváltképen Braun-féle csöveknél, elektronmikroszkópoknál, elektroncsöveknél stb. Miként az előbbi fejtegetésekből ki- 10 tűnik, a találmány értelmében kiviteli példaként felsorolt hálóval működő berendezések még egyéb tulajdonságokkal is rendelkeznek, melyek azokat a hálólencsével ellátott, ismert berendezések- 10 tői megkülönböztetik. Mivel a háló és a legközelebbi elektróda — katóda vagy anóda — között nagyobb tér van a hálónak a potenciálmezőkre gyakorolt hatását két részre bonthatjuk: Közvetlenül 11 a háló közelében ható, a szemeken át történő mezőáthatás folytáni nemkívánatos torzításra és a potenciál elosztásának nagyjából való befolyásolására. Az ismertetett példáknál az elektronok a n, hálón való nagy sebessége, valamint a
