121034. lajstromszámú szabadalom • Eljárás tárgyaknak katódporlasztással való bevonására
2 121034. menetet hord, ahol is a tányéralakú anód a csavarmenettel úgy állítható he, hogy az edény belső fala és az anód egyik oldala között akkora távolság maradjon, 5 hogy közte és az edényfal között ikisülés nem következhetik he. Ez a távolság kisebbre választandó, mint a katód körül szétterjedő ködfónyszegélyé. Avégből, hogy az áramvezető és az edényfal vagy 10 ernyő közötti szigetelő és tömítőanyagot, melyek az áramvezetőt oly távolságiban veszik körül, hogy a megmaradó szűk térben kisülés nem következhetik be, felmelegedés ellen megvédjük, a bevonandó 15 tárgyak és az anód áramvezetőit üregesen alakítjuk és belső falaikat hűtjük. Hűtőközegül vizet, olajat vagy esetleg levegőt, pl. sűrített levegőt alkalmazhatunk. A bevonandó tárgyaknak az anód-20 dal szemben katódul való kapcsolása szilárdan tapadó rétegeket, tetszőleges vastagságú, kifogástalan fémialakzatokat eredményez. A bevonandó tárgyak felületén a, cm2 -25 enkénti teljesítményt kisebbre választjuk, mint a porlasztandó katód terhelését. Magárnak a terhelésnek mértéke a beporzandó tárgy anyagától függ. Ha a porlasztásra váltakozóáramú feszültséget 30 alkalmazunk, akkor- célszerű, ha ennek áramforrását egyik sarkával a beporzandó tárgyakhoz, másik sarkával pedig" a porlasztandó kátédhoz kapcsoljuk. A váltaikozóáiramú feszültség frekvenciája tet-35 szőleges lehet, sőt oly nagy frekvenciájú áraimotoat is alkalmazhatunk, mint amilyeneket a csöves generátorok fejlesztenek. Avégből, hogy a tárgyakon a)z 1 cm2 -re eső terhelés kisebb legyen, mint a 40 porlasztandó katódé, a transzformátortól a tárgyaikhoz vezető áxamvezatékh.ez szabályozó szerveket, mint pl. villamos szelepeket ós ellenállásokat kapcsolunk. így elérjük, hogy a ka tódon a beállított egész, 45 teljesítmény működik, ellenben, a bevonandó tárgyakon a teljesítmény az ellenállással kisebbre sfcabható. A katódanyag porlasztásának megkezdése előtt, egyenáram esetén, a bevo-50 nandó tárgyat előbb leporoljuk, amivel elérjük, hogy a tóporlasztandó ,anyag igen erősen tapad hozlzá. Váltakozóára.mú porlasztás esetén az 1 cm2 eső terhelést a tárgyon nagyobbra választjuk. 55 mint a porlasztandó katódon, amivel szintén elérjük, hogy a, tárgyak felülete- a beporzás előtt megtisztul. Ezután a porlasztási feltételeket úgy állítjuk be, hogy a porlasztott anyag a tárgyakra csapódjék. A porlasztandó anyag minősége sze- 60 rint az edényt teljes falvastagságában készíthetjük a fcatódanyagból, pl. vasból, vörösrézből, nikkelből, magnéziumból, vagy alumíniumból, avagy, ha drága anyagokról, pl. ezüstről, aranyról, plati- 65 náról vagy rádiumtól, vagy pedig nem eléggé szilárd anyagról, pl. kadmiumról, ónról vagy cinkről, vagy végül csaJk nehezen, vagy egyáltalán nem, formálható anyagokról, mint pl. belli- 70 riumról, krómról, titánról, molibdénről, tantálról, vagy •wolframírói van szó, akkor a porlasztó edényt csak belső oldalán vonjuk be eizekkel az anyagokkal. A vákuumedény belső falánalk lerne- 75 zelése („plaittirozása") ismeretes eljárások, pl. elektrolízis,' ráolvasztás, í'áhengerlós, fecskendezós, kalapálás vagy kibélelés alkalmazásával foganatosítható. Elegendő, ha a katódanyagok egymással 80 és az edényfallal kontaktusban vannak. A porlasztandó anyagból tömören vagy csak részlegesen készített porlasztóedény) hőre érzékeny tárgyak beporzása esetén, a hő elvezetése céljából fűthető. Evégből 85 azt előnyösen víz- vagy olajkeringésű hűtőköpennyel vesszüík körül. Oly tárgyak beporzásáttál, melyeknél magasabb hőmérséklet még célszerű is, a porlasztó készüléknek hőszigetelést adha- 90 tunk, ahol is azonban az áramvezető'knek és ia tömítő, valamint szigetelő anyag szorítókarimájának hűtését megtartjuk. Ha a katódanyagot izzó állapotban akarjuk porlasjztani, hogy nagy porlasztási se- 95 bessógeket érjünk el, akkor a katódul ható edény ós egy második tartály között, amelybe az előbbit vákuum,1 tömítően helyezzük, előnyösen vákuumot létesítünk, mlely a pl. izzá-si hőmérsékletre he- 100 vített porlasztó edény falát mechanikailag tehermentesíti. Oly anyagok porlasztásánál, melyeknek olvadáspontja kb. 1100 C°-ig terjed, úgyis járhatunk el, hogy a porlasztandó anya- 105 got az edény fenekén a ködfényárammal való felhevítéssel megolvasztjuk és az olvadóikból porlasztjuk ki. A porlasztásnál beállítható vákuum 10 és 0.001 mm, előnyösen 1.5—0.01 mm higanyosz- 110 lop köjzött mozoghat. A rajzok a találmány néhány megoldási példáját vázlatosan szemléltetik. Az 1. ábra oly katódporlasztó készülék függélyes metszete, melynél a készülék egész 115
