121034. lajstromszámú szabadalom • Eljárás tárgyaknak katódporlasztással való bevonására

M egjelent 1939. évi július hó 15-én. *> MAGYAR KIRÁLYI SZABADALMI BÍRÓSÁG SZABADALMI LEÍRÁS 131034. SZÁM. Vll/i., (XVI/e.) OSZTÁLY. — B. 14242. ALAPSZÁM. Eljárás tárgyaknak katódporlasztással való bevonására. Bergrhaus Bernhard kereskedő, Berlin-Lankwitz. A bejelentés napja 1938 >5vi július hó 18-ika. Németországi elsőbbsége 1937. évi augusztus hó 14-ike. Ismeretes már oly eljárás, mely szerint fémtárgyakat katódporlasztás alkalmazásával, főleg a porlasztó edénybe szigeteltein bevezetett vagy az edény falának ré-5 szeit alkotó huzalok, szalagok vagy lemezek porlasztásával vontak be, még pedig a katódporlasztásra jellemző nyomásokon foganatosított villamos kisütéssel. Az eddigi eljárásnál a leporlasztott részecs-10 kék minden oldalra egyenletesen terjedtek szét és a bevonandó tárgyakon kívül az edényfalakra és az edény belsejében lévő egyéb szerkezeti résziekre is lecsapódtak, így a porlasztott anyagnak csak aránylag 15 csekély része rakódott, a tárgy beporzandó felületére. A leporlasztott anyag többi része, mely az edény belső falaira és egyéb részekre csapódott le, a további porlasztás számára veszendőbe ment. A porlasz-20 tott anyag visszanyerése, különösen ha drága anyagokról, pl. ezüstről, aranyról, platináról vagy rodiumról volt szó, tetemes munkát és költségeket okozott. A találmány mindezeket a hátrányokat kikü-25 szöböli. A találmány tárgyaknak katódporlasztással való bevonására irányuló oly eljárás, melyre jellemző, hogy a tárgyaknak beporzását oly katódporlasztó kamrában 30 foganatosítjuk, melynek egész belső felülete katódot alkot és mint ilyen van kapcsolva. A bevonandó tárgyat a porlasztó kamrába szigetelten és célszerűen fémburokkal árnyékoltan bevezetett áramveze-35 tőn erősítjük meg és így a tárgyat mindem oldalról való beporzásnak vetjük alá. Lehet több áramvezetőt is, több tárgy megerősítésére bevezetni, de úgyis járhatunk el, hogy egyetlen áramvezetőn egyidejűleg több tárgyat erősítünk meg. Cél- 40 szerű segédkészülékekkel a beporzandó tágyak számára egy vagy több áramvezetőn egyszerű felfüggesztő szerkezeteket alkalmazhatunk. A kátédról leporlasztott részecskék a bevonandó tárgyakra és a 45 felfüggesztő szerkezetekre vagy pedig az edény falára csapódnak, ahol azokat újból elporlasztjuk. Az említett segédkészülékekről, melyeket könnyen levehetően szerkesztünk és 50 előnyösen, a porlasztandó anyagból készítünk, a lecsapódott katódanyag könnyen nyerhető vissza. A beporzandó tárgyak az anódfeszültséget vezethetik. Lehet azonban a tárgya- 55 kat előnyösen oly feszültségre kapcsolni, hogy azok az anód felé negatív feszültséget vezetnek, katódul hatnak és ugyancsak ködfény szegéllyel övezettek. Ebben az esetben oly második áramvezetőt lehet 60 szigetelten és árnyékoltan bevezetni, mely kicserélhető, tányéralakú, anódul kapcsolt elektródával van felszerelve, melyet előnyösen a porlasztandó anyagból készítünk. Az anódhoz való; második áram ve- 65 zetőt előnyösen a bevonandó tárgyak csatlakozására és tartására alkalmazott áramvezetőtől csekély távolságban és azzal központosán, valamint attól és az edénytől elszigetelten vezetjük be. Ebben az 70 esetben az anódhoz alkalmazott áramvezető egyúttal, a bevonandó tárgyak áramvezetőjének árnyékolását alkothatja. Az anódnak említett, üreges, hengeralakú áramvezetője a vakuumtérbe nyúló végén 75 a tányér alakú anód felszerelésére csavar-