121029. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés vegyi reakciók foganatosítására

131039. 5 tódaporlasztótérrel, valamint ehhez csatlakoztatott vákuumszivattyúval. 19. A 18. igénypontban védett berendezés foganatosítási alakja, jellemezve a 5 reakciórésztvevők hozzávezetését célzó kicserélhető lyukgatott katalizátorporlasztólemezzel ellátott átfúrt katódával és a reakciótermékek kivezetését, célzó átlyukasztott anódalemez-10 zel ellátott átfúrt anódával. 20. A 18. és 19. igénypontban védett berendezés foganatositási alakja, jellemezve a reakciótermékek kivezetéséhez csatlakozó hűtővel, továbbá a 15 kondenzált anyag gyüjtőtartályával és a fáradt gáz gáztartályával, valamint a reakciórésztvevők készlettartályával, nyomáscsökkentő szeleppel és a készlettartályt a reakciótérrel 20 összekötő vezetékben elrendezett előhevítővel, illetőleg hűtővel. 21. A 18—20. igénypontok bármelyikében védett berendezés foganatosítási alakja, jellemezve a porlasztott fémek hevítését célzó nagyfrekvenciás fűtő- 25 tekerccsel, valamint ennek áramforrásával. 22. A 18—20. igénypontok bármelyikében védett berendezés foganatosítási alakja, jellemezve áramforrásból táplált, 30 a porlasztott katódaanyag irányítását, illetőleg összefogását célzó gerjesztőtekerccsel. 23. A 18—20. igénypontok bármelyikében védett berendezés foganatosítási 35 alakja, jellemezve járulékosan ellenálláffűtésű katódával, valamint fűtőáramforrással. 24. A 18—20. igénypontok bármelyikében védett berendezés foganatosítási 40 alakja, jellemezve nagyfrekvenciás tekercs útján járulékosan fűtött katódával, valamint nagyfrekvenciájú áramforrással. 25. A 18—20. igénypontok bármelyiké- 45 ben védett berendezés foganatosítási alakja, jellemezve fényivvel fűtött katódákkal. 3 rajzlap melléklettel. Pallas nyomda, Budapest.