120550. lajstromszámú szabadalom • Elektrontükör és készülék elektronoptikai ábrázolásra

MAS TAR KIRÁLYI SZABADALMI BIRÓSÁ6 SZABADALMI LEÍRÁS 120550. SZÁM. VII/d. OSZTÁLY. — J<. 4973. ALAPSZÁM. Elektróntükör és készülék elektronoptikai ábrázolásra. Allgemeine Elektricitats Gesellschaft Berlin. A bejelentés napja 1936. évi májns hó 18-ika. Németországi elsőbbsége 1935. évi május hó 20-ika. A találmány elektrontükör és készülék elektronokat kisugárzó vagy visszaverő (reflektáló) testeknek, valamint elektronoktól átsugárzott testeknek elektron-5 optikai ábrázolására. Elektronsugarakkal villamos vagy mágneses lencsék alkalmazása melletti ábrázolása ismeretes. Az eddig ismert lencserendszereknek még többnyire az a hibá-10 juk, hogy az egy pontból kiinduló, különböző sebességű elektronsugarakat nem egyesítik ismét egy pontban. Ez a „kromatikus" hiba, különösen az elektronok szélesebb sebességeloszlásánál jelentkezik 15 zavaróan. Ezideig ezt a hibát nem lehetett kielégítő módon megszüntetni, minthogy eddig nem sikerült szóróhatású elektronoptikai rendszereket gyakorlatilag használható alakban létesíteni. Az elektron-2o optikai gyűjtőlencsék szerkesztése ellenben ma már nem okoz alapvető nehézségeket. Elektronoptikai szórólencsék hiányában tehát az elektronsugarakkal történő 05 ábrázolás lencsék alkalmazása mellett ezideig bizonyos mérvben korlátozott volt. Ezt a korlátozást a találmány szerint úgy szüntethetjük meg, hogy az elektronoptikai ábrázoláshoz elektrontükröket al-30 lalmazunk. Az elektrontükrök az elektronlencsékkel ellentétben egyszerű módon mind gyújtótükrök, mind pedig szórótükrök vagy sík tükrök alakjában készíthetők. Ilykép tehát lehetségessé válik pl. 35 valamely elektronkisugárzó felületnek elektronoptikai ábrázolását csupán egy vagy több elektrontükör alkalmazásával foganatosítani. Számos esetben azonban előnyös a tükröket elektronlencsékkel, illetőleg lencserendszerekkel kombinálni. 40 Ilymódon ábrázolórendszerek keletkeznek, amelyeknek „kromatikus" hibái bizonyos körülmények között jelentékenyen csökkentettek, illetőleg gyakorlatilag el vannak kerülve. 45 A találmány szerint az ilyen elektrontükör az elektronsugárjáratban elrendezett, felületszerű kiterjedésű, negatív potenciálú elektródából és ez elé helyezett, az egész elektronsugár járatot szaba- 50 don engedő, ellenzőszerű elektródából van, amely az első elektródához viszonyítva kevésbé negatívabb potenciálon, illetőleg pozitív potenciálon van. A potenciál az elektronforráshoz (izzó- vagy 55 fotokatódához vagy másefféléhez) képest, vagy pedig, ha az elektronfoirás be- vagy átsugárzott test, akkor ama hely potenciáljához képest, ahol az elektronok sebessége zérus, negatív. Az ellenző és a 60 felületelektróda között potenciálfelületek keletkeznek, amelyeken a beérkező elektronok, sebességük szerint, korábban vagy későbben visszaverődnek. A sugárjáratban fekvő felületelektróda emellett s. 65 tükörtől kívánt hatásnak megfelelően homorúan vagv domborúan görbített, vagy pedig sík lehet. A tükörnek az elektronsugarak felé fordított oldalán olyan potenciálon lévő felületek alakulnak ki, 70 hogy rajtuk az elektronsugarak még nagy sebességűek. A tükör felé kisebb (negatívabb) potenciálon lévő felületek alakulnak ki, mimellett már az elektródák