119864. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezetőbevonatok előállítására

2 lí 9864. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás szárazlemezes egyenirányítókhoz vagy fényérzékeny cellákhoz való félvezetőbevonatok előállítására, a fél-5 vezeLőanyag rágőzölésével. melyre jellemző, hogy a félvezető elgőzölgésél és rágőzölését a hordozóelektródára kémiailag semleges gázban vagy gőzben végezzük. 10 2. Az 1. igénypontban védett eljárás foganatosítási módja, melyre jellemző, hogy félvezetőanj^agként szelént használunk. 3. Az 1. igénypontban védett eljárás foga-I natosítási módja, melyre jellemző, hogy félvezetőanyagként szelén és jódgőz keverékét használjuk 4. Az 1—3. igénypontok bármelyikében védett eljárás foganatosítási módja, 2Q melyre jellemző, hogy hordozóelektródakénl könnyűféméi, pl. alumíniumot használunk. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyikében védett eljárás foganatosítási módja, melyre jellemző, hogy a félvezetőanyag 25 vagy anyagok gőzét előmelegített, kémiailag inaktív gázárammal a hordozóelektródára fujjuk. (i. Az 1—ő. .igénypontok bármelyikében védeti eljárás foganatosítási módja, 30 melyre jellemző, hogy a hordozóelektródát oly hőmérsékleten tartjuk, melyen a félvezető a hordozóelektródán a félvezetőréteg hatékonyságához szükséges módosulatban csapódik le. 35 7. Az 1—G. igénypontok bármelyikében védett eljárás foganatosítási módja, melyre jellemző, hogy a semleges gázt vagy gőzt a külső nyomásnál nagyobb nyomáson alkalmazzuk. 40 8. Az 1—7. igénypontok bármelyikében védett eljárás foganatosítási módja, melyre jellemző, hogy kémiailag semleges gázként nemesgázt vagy nitrogént használunk. fallas nyomd.i, Budapest