117483. lajstromszámú szabadalom • Eljárás fémes bevonatok elgőzölögtetett fém lecsapásával hordozón való előállítására
zött gőzölög, mely hőmérsékletnél az ón gőznyomása elenyészően kicsiny. Az elgőzölögtető edényt célszerűen igen magas olvadáspontú fémből, pl. wolfram-5 ból, vagy molibdénből készítjük és villamosan hevítjük. Kísérletekből kitűnt, hogy előnyös, ha a munkatérbe, amelyben a fémet elgőzölöghetjük és lecsapjuk, semleges gázt vezető tünk be és ezt ionizáljuk. Ugy találtuk, hogy ez esetben vagy nagyobb nyomással, vagy gyorsított elgőzölögtetéssel dolgozhatunk, mint olyankor, ha ionizációt nem alkalmazunk és ennek dacára azonos jó-15 ságú terméket kapunk. Valószínű, hogy a fémgőz kondenzálódását az ionizált gáz késlelteti, ami arra vezethető vissza, hogy a fématomok gáz ionokkal való ütközés álkalmával kevesebb energiát veszítenek, 20 mint gázmolekulákkal ' való ütközéskor. A találmány szerinti eljárás foganatosítható úgy is, hogy az elgőzölögtetendő fémet egy, vagy több gőzkivezető nyílással ellátott edényben tároljuk és az edényt, 25 vagy az abban levő fémet, vagy mindkettőt villamos áramkörbe kapcsoljuk és azt, illetőleg azokat mint ködfény-kisülőszakasz elektródáját hevítjük. Szabadalmi igények: 30 1. Eljárás fémes bevonatoknak hordozókon az elgőzölögtetett fém lecsapásával való előállítására, melyre jellemző, hogy a fémgőzökbe az elgőzölögtetés helye és a réteghordözó közötti út-35 vonalion oly járulékos melegmennyiségeket vezetünk, amelyek a gőzöknek az elgőzölögtetett fém elgőzölögte tési hőfoka alá való lehűlését megakadályozzák. 40 2. Az 1. igénypontban védett eljárás foganatosítási módja, melyre jellemző, hogy a munkatérben a fémgős parciális nyomását alacsonyabb értéken tartjuk, mint amekkora a munkateret 45 megtöltő gáz parciális nyomása. 3. Berendezés az 1. vagy 2. igénypontok bármelyikében védett eljárás foganatosítására, melyet az elgőzölögtetés helye és a réteghordozó között elrende-30 zett szitaalakú fémes fűtőtest jellemez. 4. Az 1. igénypontban védett eljárás foganatosítási módja, melyre jellemző, hogy a fémgőzöket az elgőzölögtetés helye és a réteghordozó közötti térbe 55 bevezetett gázzal hevítjük. 5. Berendezés a 4. igénypontban védett eljárás foganatosítására, melyet az elgőzölögtetés helye és a réteghordozó között elhelyezett, porózus anyagból, pl. palládiumból, vagy agyagból ké- 60 szült fűtött gázvezető cső jellemez. 6. Berendezés az 1. vagy 2. igénypontban védett eljárás foganatosítására, amelyet a fém elgőzölögletési helye és a réteghordozó között az áramló fém- 65 gőzök útjában elrendezett fémes fűtőtest, pl. fűtött fémlemez jellemez. 7. Az 1., 2. és 4. igénypontok bármelyikében védett eljárás foganatosítási módja, melyre jellemző, hogy a fémes 70 fűtőtestet ködfény kisülésekkel hevítjük. 8. Berendezés a 7. igénypontban védett eljárás foganatosítására, melyre jellemző, hogy a fémes fűtőtest villamos áramkörben, mint ködfénykisülő sza- 75 kasz egyik elektródája van kapcsolva. 9. A 8. igénypontban védett berendezés kiviteli allakja, melyre jellemző, hogy a berendezésben két fémes fűtőtest van, melyek egy villamos ködfény- 80 kisülő szakasz elektródái. 10. Berendezés az 1., 2„ 4. és 7. igénypontok bármelyikében védett eljárás foganatosításához, melyet az elgőzölögtetendő fémet befogadó, egy vagy több 85 gőzkivezető nyílással ellátott, villamosan fűtött edény jellemez. 11. A 10. igénypontban védett berendezés kiviteli alakja, melyre jellemző, hogy a fémgőzöket az elgőzölögtetendő fé- 90 met tartalmazó edényből kivezető nyílások oly felületben vannak elosztva, mely nagyobb, mint az edényben levő folyékony fémtömeg felszíne. 12. Az 1., 2.„ 4. és 7. igénypontok bár- 95 melyikében védett eljárás foganatosítási módja, melyre jellemző, hogy a munkatérben levő gázt ionizáljuk 13. Berendezés a 12. igénypontban védett eljárás foganatosítására, melyet a 100 munkatérben az elgőzölögtetés helye és a réteghordozó között levő gázt ionizáló, ködfénykis üléssel dolgozó elektródák jellemeznek. 14. Az 1., 2.„ 4„ 7. vagy 12. igénypon- 105 tok bármelyikében védett eljárás foganatosítási módja, melyre jellemző, hogy a lecsapandó fémgőzöket a lecsapandó fémnek egy másik, oly fémmel való keverékéből, vagy ötvözeté- 110 bői állítjuk elő, mely fém elgőzölögtetési hőfoka magasabb, mint az elgőzölögtetendő fém elgőzölögtetési hőfoka.