Budapest Főváros Levéltára: MSZMP Budapesti Bizottság XII. Kerületi Bizottsága vezető testületeinek iratai - Tudománypolitikai Munkabizottság, 1987 (HU BFL XXXV.17.a/8)

1987-10-09

• h al

Az KKI-tan « ezred ^ P°"*0%a ítayezS, hogy nil:cr 6z

leien, amelyeknek, a;‘-^ t6 befolyásol6 tényez > lektronikal

forlfck meghatározni. Alapvox ^ orstóETM konstI„kolmilyen mértékben XSÍt ^élvezeti technolí^i-Jnd^.^ amelyek a program keretében a “g8“Sp„., orlsi^li. f$£16i.t, követő

nlnzetk8zfEinformf.oi6 /dredosrthaíé^redmények^lapczha^-,

fe^leaztésekaés^a^néPGan^aséGl^áEényre^vee-,^^^^E^nej, gazdas g-SSS^^S’. “ ^konstrukciójánál: késedelme esetén

alaP3 A félvezető teohnoléfla -e „ikrcstruktdrél^ ele^.^ 6s

tevékenységünk eAlyP Johani!:al (esetleg t ^ fes fejlesztve a

SSfdlrrSle^-téeére baszndljuk fel. és mérőeszközeinek

I. Originális kutatások ., .^viszonylatban is «

E kutatások egyik csoportjába a jUgg^

Gondolatokhoz ÍSd publikálásukkor “ Eshető változatról

fess* *»ssg S^i«f-for^rs'-?lyefetfetlkame6val6sltésénak. bb_ Ez olyan metoaik-- ^

ale y unikális v|^

iJ volt birtokunkban• a®j|^tlv alf a-viES^°f ényképezés . Ezel: mélysfeséraékenyBés & 6h&ny eszköze, a ,g^ tanaiitika alapvet

63 vékonyrctesanallt a alapúié felül í£6118 Jelenleg a

vízül a magfizikai módszere szorul. Onikai:„lvaaékáramlas

instrumentális rek°dlstálynövesstés közben 6 médszer.

Czochralski típus* ^iZf\luktukciék ele^zf tvenCiaBpektrjmr&

okozta látsz&lacos B^-e*odlkÉkt szaese^(1Í fejlesszük, hogy Terv, hogy ezt nagyobb érzékenységű reaktorfisikai éterjesszük ki fl^JtuÉl0i6diagnosztika ^ Vesztett matematika alkalmazzuk a n területeken kiiea Unk egyrészt a

■ ^em"6^^m&dszereitS^és^közvetlen^korreláciét^kere^^^^sb^ Jellemző

elemvorí í>qi mechanizmus, m -oésztésé

paramétereivel. tovabbi *3 metodikákra^ • atomi finomsÉigd

alacátnikroszképia CoT.J ^ Jutunk^ Vivőn t«k)

felületmorfoléciai eie alakos Bi“

növésztése°kisérelhet5 meg.

L - —-— _J- F-8 -