Budapesti Műszaki Egyetem - rektori tanácsülések, 1986-1987
1987. június 15., 8. rektori tanácsülés
KÖZPONTI OKTATÁSI EGYSÉGEK Fizikai Intézet Kutatási együttműködés félvezető eszközök gyártástechnológiájának kifejlesztésével kapcsolatos rétegszerkezeti fizikai vizsgálatölT" elvégzésében /lm/ Megbizó: Mikroelektronikai Vállalat Neutronaktivációs mérések segítségével a SIMS technikát alkalmassá tették Na koncentráció meghatározására Si02 rétegekben. A módszer segítségével a SU licensz szerinti gyártás technológiai ellenőrzésében vettek részt. A kisérő szeleteken rendszeresen, ill. technológiai konzekvenciáju lépések után Na eloszlást és egyéb szennyezők jelenlétét vizsgálták. Részt vettek az LP Schottky áramkörök technológiájának előkészítésében. Pt - Si rendszerekben a fázisképző folyamatokat tanulmányozták SIMS, Auger és RDS technikával. Megkezdték a PSG rétegek foszfor koncentrációjának vizsgálatát is. Megállapítható, hogy RBS technikával a rétegek felső loo nm-es tartományában 15%-os pontossággal meghatározható a foszfor koncentráció, amennyiben a koncentráció 1% fölött van. SIMS vizsgálatokkal a foszfor mélységi koncentrációprofilja is felvehető néhány száz nm mélységig, etalon minták segítségével. Tanreaktor A KGST-ben alkalmazott és alkalmazandó atomerőmüveket tartalmazó vegyes atomenergia-rendszerek vizsgálata /lm/ Megbizó: Villamosenergiaipari Kutatóintézet A jelenlegi megbizás keretében végzett munka jelentős mértékben épült az előző években a témában folytatott kutatómunkákra. Fontos továbbfejlesztésként részletesen foglalkoztak a kérdés KGST-n belüli megoldásával és a hazai konzekvenciákkal. Részletesen megvizsgálták az atomenergiarendszerek felépitésére vonatkozó elképzeléseket. A KGST feltételeiből kiindulva számszerűleg értékelték a szimbiotikus rendszerhez vezető hosszutávu /2ooo utáni/ atomenergiaprogramot az üzemanyaggazdálkodás szempontjából. Fontos következtetésekre jutottak a célszerű fejlesztési irányok vonatkozásában. Az elemzések alapján javaslatot tettek a KGST-n belüli szimbiotikus atomenergiarendszer kialakításához szükségesnek Ítélhető kutatásifejlesztési preferenciákra. Ebből levezették a Magyarország számára javasolható kutatási-fejlesztési feladatokat. Lezárt tokban tárolt nukleáris anyagok safeguard célzatú ellenőrzése /lm/ Megbizó: Országos Atomenergia Bizottság A programban megfogalmazott közvetlen cél: módszer és berendezés kifejlesztése, amelynek segítségével lezárt tokban tárolt üzemanyagok hasadóanyagtartalma, töltöttsége, a tok megbontása nélkül, a tokon кivül végzett mérések alapján meghatározható. Az 1986-ra vállalt feladat: metodikai kutatás, a transzmissziós technika alkalmazása nukleáris anyagot tartalmazó kiterjedt tárgyak vizsgálatára film bázisú technikával. Az eredmények bemutatására és értékelésére háromfajta vizsgálati tárgyon végeztek méréseket: egy speciális teszt Objekt, egy tokba zárt fütőelemköteg makett és egy uránt tartalmazó reaktor üzemanyagköteg. 70
