Budapesti Műszaki Egyetem - Egyetemi Értesítő, 1986

1986 / 4. szám

13 Fizikai Intézet Atomfizika Tanszék Megbizó: Távközlési Kutató Intézet. Tárgy: "A mikrohullámú sávban használatos vékonyréteg áramkörök porlasztott és párologtatott rétegrendszereinek felületi, határfelületi és köztes összetételének vizsgálata SAM és SIMS módszerekkel" Vállalási összeg: 2,475.000 Ft. Budapest, 1986. február 20. //Dr. Tuschcík Róbert / jr. %— w w 2 rn\