201628. lajstromszámú szabadalom • Eljárás egymástól kis távolságban lévő fém alakzatok hordozón, különösen félvezető hordozón történő kialakítására
(19) Onzáglcód: HU SZABADALMI LEÍRÁS (11) Lajstroraszám: 201628 B SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY (51) Int. Cl.s (22) Bejelentés napja: 1985.12.18. (21) 4848/85 (1-10. igénypontok) (23) A módosítási elsőbbség napja: 1989.11.06. (11-13. igénypontok) H 01 L 21/28 MAGYAR KÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL (40) Közzététel napja: 1987.09.28. (45) Megadás meghirdetésének dátuma a Szabadalmi Közlönyben: 1990.11.28. (72) Feltalálók: (73) Szabadalmas: NÉMETH Tiborné, 27,5%, MTA Műszaki Fizikai Kutató NÉMETH Tibor, 27,5%, Intézete, Budapest, BÍRÓ Sándor, 15%, (HU) dr. MOJZES Imre, 15%, dr. SZENTPÁLI Béla, Budapest, (HU) 15%, (54) ELJÁRÁS EGYMÁSTÓL KIS TÁVOl, SÁGBAN LÉVŐ FÉM ALAKZATOK HORDOZÓN, KÜLÖNÖSEN FÉLVEZETŐ HORDOZÓN TÖRTÉNŐ KIALAKÍTÁSÁRA (57) KIVONAT Eljárás egymástól kis távolságban lévő fém alakzatok hordozón, különösen félvezető hordozón történő kialakítására, amelynek során a hordozóra (1) első fém alakzatot viszünk fel, amely első fém alakzatnak egy második fém alakzattal szomszédos oldalait kinyúló peremmel (6) alakítjuk ki, majd a második fém alakzatot úgy hozzuk létre, hogy az első fém alakzattal ellátott hordozóra (1) fémréteget (9A, 9B) viszünk fel. A találmány szerint a hordozóra (1) legalább egy szigetelőréteget (2) viszünk fel, a legalább egy szigetelőréteget (2) fotoreziszt réteg (3) alkalmazásával az első fém alakzatnak megfelelő helyeken eltávolítjuk és eközben önmagában ismert módon a megmaradó legalább egy szigetelőréteg (2) és/vagy az ezen lévő megmaradó fotoreziszt réteg (3) ferde oldalfelületét (4A, 4) hozzuk létre, az így kialakított struktúrára első fémréteget (5A, 5B) viszünk fel, majd a fotoreziszt réteget (3) a felette lévő első fémréteggel (5A) együtt távolítjuk el, ezután a legalább egy szigetelőréteget (2) a második fém alakzatnak megfelelő helyeken eltávolítjuk, és az így kialakított struktúrára második fémréteget (9A, 9B) viszünk fel. (1. ábra) A leírás terjedelme: 7 oldal, 5 rajz, 5 ábra lábra HU 201628 B
