199009. lajstromszámú szabadalom • Eljárás bevonatok vastagságának ellenőrzésére

(19) Országkód:

SZABADALMI

(11) Lajstromszám:

HU

LEÍRÁS

199009 B

0

(22) Bejelentés napja: 1985.10.03. (21)3846/85 (89) SU 1 265.475. l.sz.

(40) Közzététel napja: 1987.03.30.

(51) Int Cl4 G 01 B 15/02

magyar

KÖZTÁRSASÁG

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

(45) Megjelent: 1990.04.03.

(72) Feltalálók: (73) Szabadalmas:

Sulakov Alexandr Sergeevics, Leningradsky Gocudarttvenny

Vakorin Vyachesíav Fedorovics, Unfversitet im.Zsdanova, Leningrad, SU

Leningrád,

Fomicsev Vadim Alexeevics,

Petrodvorec, SU,

Szász András,

Budapest, HU

(54) Eljárás bevonatok vastagságának ellenőrzésére

(57) KIVONAT

A találmány tárgya eljárásbevonatok vastagságának ellenőrzésére, melynek, során az alaplemezt (3) és az arra felvitt bevonatot (2) forrás (1) által kiocsátott, egy az energia szempontjából homogén elektronsugár energiával (e) besugározzuk, a karakterisztikus sugárzás spektrumát mérjük és meghatározzuk a bevonat (2) vastagságát. A találmány lényege abban van, hogy az energia szempontjából homogén elektronsugárenergiát (e) a forrás (1) gyorsítófeszültségének megváltotatásával változtatjuk, és a karakterisztikus sugárzást az alaplemezre (3) jellemző ultralágy spektrum tartományában analizáló detektor

(4) és azzal összekapcsolt mérőkészülék (5) segítségével mérjük, és a bevonat (2) vastagságát az elektronsugár energia (Eq) nagysága szerint határozzuk meg, melynél az alaplemez (3) sugárzás spektruma megjelenik.

(

A leints terjedelme: 3 oldd, 1 ábra

HU 199009 B