196854. lajstromszámú szabadalom • Terjedési ellenállás hőmérsékletfüggésen alapuló, előírt névleges ellenállásértékű szilícium hőérzékelő
(19) HU MAGYAR népköztársaság országos TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY A bejelentés napja: (22) 1985. in. 27. (21) 1158/85 A közzététel napja: (41) (42) 1987. II. 27. Megjelent: (45) 1989.09.04. Feltaláló(k): (72) dr. Pásztor Gyula, Berkecz János, Havasi István, Budapest, Kerek László, FŐT, Molnár József, Nagyné Ficza Marianna, Budapest, HU 47% 19% 9% 9% 9% 7% (11) 196 854 B Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZ04 H01 L 27/16 GOI K 7/16 Szabadalmas: (73) Mikroelektronikai Vállalat, Budapest, HU (54) Teijedési ellenállás hőmérsékletfüggésen alapuló, előírt névleges ellenállásértékű szilícium hőérzékelő (57)KIVONAT A találmány tárgya terjedési ellenállás hőmérsékletfüggésen alapuló, előírt névleges ellenállásértékű szilícium hőérzékelő, amely leginkább hő- és hőmérsékletérzékelő eszközként (szenzor) alkalmazható. A találmány szerinti hőérzékelőnek hőérzékelő félvezető eleme és két kivezetése van. A hőérzékelő félvezető elemnek szilícium egykristály hordozója és azon a hordozó vezetési típusával azonos vezetési típusával azonos vezetési típusú adalék diffúziójával előállított első diffúziós szigete és második diffúziós szigete van. Továbbá külön az első diffúziós szigethez és külön a második diffúziós szigethez ohmos kontaktussal kapcsolódó, a hordozó felületén kialakított, hozzávezetést képező fémrétege van, amely fémrétegek vannak az egyes kivezetésekkel összekötve. A hőérzékelő névleges ellenállásértéke az első diffuzóis sziget és a második diffuzóis sziget között mérhető. A találmány szerinti hőérzékelő lényege, hogy az első diffúziós szigettel (20) és a második diffúziós szigettel (30) egyező kialakítású harmadik és további diffúziós szigetei (40) vannak, amelyekhez ohmos kontaktussal hozzárendelt harmadik és további fémrétegek (44) kapcsolódnak, amely harmadik és további diffúziós szigetek (40) egyenként az első diffuzóis szigettel (20) együtt rendre a névleges ellenállásértéket is tnagábafoglaló értéksort megvalósító ellenállásokat alkotnak.
