188820. lajstromszámú szabadalom • Eljárás meza szerkezetű félvezető eszközök passziválására
(19) HU SZABADALMI ""188 820 MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY B Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZ04: H 01 L — 21/318 (|) A bejelentés napja: (22) 82. 11. 30. (21) 3837/82 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (41 ) (42) 84. 07. 28. Megjelent: (45) 87. 11.30. ( . Szabadaímí Tár. * ^ V# _ i j Feltalálóik): (72) Szabadalmas: (73) Huszka Zoltán, 25 %, Márton Edit, 12%, dr. Szendrő István, Mikroelektronikai Vállalat, Budapest 10 %, Fáimon László, 10%, Budapest dr. Nényei Zsolt, 25%, Tóth Gergely né, 10%, Puskás László, 8%, Budapest (54) ELJÁRÁS MEZA SZERKEZETŰ FÉLVEZETŐ ESZKÖZÖK PASSZIVÁLÁSÁRA (57) KIVONAT A kitűzött feladat megoldására a félvezető eszköz felületére szilíciumnitrid réteget választanak le. A felvitt szilíciumnitrid rétegben szilíciumnitrid réteg felület kémiai marásra kerülő részén ablakot nyitnak. A szilícium réteg kémiai marásának elvégzése után elektroforetikus úton üvegport választanak le, majd a leválasztott üvegport megömlesztik. A javasolt eljárással olyan félvezető eszköz állítható elő, melyek csak a meza árkokban tartalmaznak üveget, és a további műveletek nevezetesen a kontaktus ah: k nyitás a fémezés és a fém fotolitografálása a hagyományos monolitikus Si technológiában ismert módon végezhetők el.
