188812. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető eszközök felületvédelmére
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL LEÍRÁS SZOLGALATI TALÁLMÁNY SZABADALMI B A bejelentés napja: (22) 82. 10. 26. (21)3413/82 A közzététel napja: (41 ) (42) 84. 05. 28. Megjelent: (45) 87.11.30. Feltaláló(k): (72) Márton Edit, elcktrofizikus, 15 %, Huszka Zoltán, villamosmérnök, 10 %, dr. Szendrő István, 17,5 %, dr. Motál György, 10 %, fizikusok, Budapest Tóth Gergelyné, vegyész, 10 %, Erdős László, vegyész, 12,5 %, Puskás László, vegyész, 10 %, Bohus János, vegyész. 7.5 Budapest, Dcmján László, technikus, 7,5 %, Főt 188 812 Nemzetközi osztályjelzet: (51)NSZ04 C 23 C —8/04; H 01 L —21/04 Szabadalmas: (73) Mikroelektronikai Vállalat, Budapest (54) ELJÁRÁS FÉLVEZETŐ ESZKÖZÖK FELÜLETVÉDELMÉRE (57) KIVONAT A javasolt megoldás során az ismert módon kialakított, sorrendben Si02 és foszforszilikát üvegréteggel ellátott félvezető eszköz aktiv felületéről, a foszforszilikát üvegréteget nedves vagy száraz kémiai maratással eltávolítják, majd az ily módon megmunkált félvezető eszköz aktív felületét ismert eljárással szilíciumnitrid réteggel vonják be. A fenti módon kialakított félvezető eszközökön további műveleti lépés is végrehajtható, melyben a foszforszilikát üveg lemarása után a szilíciumdioxid rétegben ismert fotolitográfiai eljárással oxidmentes felületeket alakítanak ki, majd a félvezető eszköz aktív felületét szilíciumnitrid réteggel vonják be.
