188635. lajstromszámú szabadalom • Berendezés plamzmatronnal történő reaktív rétegfelhordásra
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS (21) 664/80. (22) A bejelentés napja: 80. 03. 20. A bejelentés elsőbbsége: (33) DD (32) 79. 03. 22. (31) (WP C 23 Cl211 739) (89) Származási ország: 142 568 1. sz. (DD) (41) (42) Közzététel napja: 83. 12. 28. (45) A leírás megjelent: 89. IV. 11. (11) 188635 Nemzetközi osztály jelzet : (51) Int. C1.4: C 23 C-kämpfet ^^sTalálntínyi^s Szabadalmi Tár. ' Feltaláló (k): (72) BILZ Harald, labormechanikus, Radebeul, dr. HEISIG Ullrich, fizikus, Drezda, dr. SCHILLER Siegfried, fizikus, Drezda, GOEDICKE Klaus, fizikus, Drezda, DD dr. STEINFELDER Kari, mérnök, Drezda, STRÜMPFEL Johannes, fizikus, Drezda, HENNEBERGER Jürgen, vegyész,mérnök, Hermsdorf, STEINHAUER Ingo, fizikus, Hermsdorf, DD Szabadalmas: (73) Kombinat VEB Keramische Werke Hermsdorf, Hermsdorf, DD (54) BERENDEZÉS PLAZMATRONNAL TÖRTÉNŐ REAKTIV RÉTEGFELHORDASRA (57) KIVONAT A találmány tárgya berendezés plazmatronnal történő reaktív rétegfelhordásra elektromosan vezető céltárgy reakciógázban való porlasztása révén, főként bizonyos kémiai vegyületekből, mint pl. oxidokból vagy karbidokból álló rétegek bevonandó tárgyakra való porlasztásos felviteléhez. A találmány lényege az, hogy a plazmatron porlasztóforrás és a bevonandó tárgyak közötti rétegfelhordási tér elektromosan vezető, a rétegfelhordó berendezés többi részétől elszigetelten elrendezett fallal van körülvéve. A porlasztóforrással szemben a bevonandó tárgyak tartományában egy, a porlasztóforrás céltárgyfelületének legfeljebb háromszorosát kitevő nyílás van kialakítva. A fal és a bevonandó tárgyak, illetve azok elektromosan vezető tartóelemei között legalább 5 voltos potenciál-különbség van beállítva, így a bevonandó tárgyak falhoz képesti polaritása pozitív, a fal nyílása pedig a bevonandó tárgyak tartományában olyan kicsi. hogy a negatív töltéshordozók átlagos áramsűrűsége a bevonandó tárgyakon több mint 5 • 10~3 A/cm2.
