186159. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés tárgyfelületek geometriai paramétereinek meghatározására
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS (H) 186159 Nemzetközi osztályjelzet: . (22) A bejelentés napja: 82. 11. 12. (21)3647/82 (51) Int. Cl.4: ||| G 01 B 11/24 OR8ZAGOS V Ál -......... TALÁLMÁNYI HIVATAL (41) (42) Közzététel napja: 84. 06. 28. (45) A leírás megjelent: 88 . 11.30. (72) (73) FONOV Szergej Dimitrijevics, mérnök, Moszkovszkaja oblaszt, Balashikhinszkij rajon, poselok Zarja, KULES Vladimir Petrovics, mérnök, SZEMIKOVA Tatjana Gennadijevna, mérnök, ORLOV Anatolij Antonovics, fizikus, Zhukovszkij Moszkovszkoj oblaszti, GRIBANOV Dmitrij Dmitrijevics, mérnök, MARTYNOV Appolinary Konsztantinovics mérnök, Moszkva, SU (54) ELJÁRÁS ÉS BERENDEZÉS TÁRGYFELÜLETEK GEOMETRIAI PARAMÉTEREINEK MEGHATÁROZÁSÁRA (57) KIVONAT A találmány tárgya eljárás adott tárgyfelület geometriai paramétereinek meghatározására, amikoris a vizsgálandó felületre két egymással szöget bezáró felületű koherens fénynyalábot vetítve interferenciaképet hozunk létre, majd ezt az interferenciaképet regisztráljuk, és a sávszámok alapján a regisztrált képben minden egyes két koordinátával meghatározott felületponthoz meghatározzuk a harmadik koordináta növekményt. A találmány tárgya továbbá berendezés a találmány szerinti eljárás foganatosítására, amely berendezés két koherens fénynyaláb előállítására és vetítésére kiképzett optikai rendszert tartalmaz, aholis a két fénynyaláb egymással szöget bezáró síkban van a vizsgálandó felületre vetítve, továbbá tartalmaz fénysugárregisztrálót, két koordináta-adó egységet, valamint a regisztrált interferenciakép sávszámának mérésére kiképzett egységet. A találmány lényege abban van, hogy az interferenciaképről készített regisztrátumon az egyik interferencia sávot jelzéssel látjuk el, amellyel a vonatkoztatási nulisávot jelöljük ki, továbbá mérjük annak az interferencia-szélsőérték felületnek a térbeli helyzetét, amely a jelzett nullsávnak megfelel, majd mérjük a harmadik koordináta mentén képződő összes interferencia szélsőérték felületek közötti távolság térbeli eloszlását, úgy, hogy megállapítjuk a két koordinátával megadott pontban lévő nullsáv felületéhez képest a harmadik koordináta növekményt, és meghatározzuk a regisztrált képen a nullsáv és a szükséges pontban lévő sávok közötti távolságnak megfelelő érték és a szélsőértékek közötti értékeket. A találmány lényege továbbá az, hogy a berendezés a tárgy felületén egy nulisávot kijelölő egységet, a fénynyaláb metszési tartományában lévő interferencia szélsőértékek síkjainak térbeli helyzetét, valamint a közöttük lévő fázisszöget mérő egységet, egy tartóelemet, fotocellát tartalmaz, amely a sugárnyalábok kereszteződésében van elhelyezve, továbbá tartalmaz a berendezés egy a felületi pont harmadik koordinátáját meghatározó egységet, amely tárolóval ellátott folyamatszámítógépet tartalmaz, amelynek bemenete össze van kapcsolva a koordináta-adó egység, a sávszám-mérő egység és az interferencia-szélsőérték síkjainak térbeli helyzetét és a közöttük lévő távolságot mérő elem kimeneteivel és úgy van kialakítva, hogy a nullsáv és a szükséges pont közötti sáv egész és tört számban meghatározott értékének a függvényében a megfelelő metszethez tartozó két koordinátát összegzi, és a nullsáv felületének ebben a metszetben lévő koordinátáihoz hozzáadja, és ennek alapján kiadja a harmadik koordináta abszolút értékét.
