185079. lajstromszámú szabadalom • Mágneses buborékok detektálására alkalmas kombinát vastag-vékonyréteg magnetorezisztív detektor és eljárás annak előállítására
(19) HU SZABADALMI 185 079 MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO3 GOI N 27/72; G 11 C 19/08 0 A bejelentés napja: (22) 81. 12. 23. (21 ) 3930/81 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (41 ) (42) 83. 10. 28. Megjelent: (45) 87. 01. 15. f Szabadalmi Tár. ' ) Feltalálóik): (72) Szabadalmas: (73) Boctócs László, matematikus, Pintér István, fizikus, Budapest MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest (54) MÁGNESES BUBORÉKOK DETEKTÁLÁSÁRA ALKALMAS KOMBINÁLT VASTAG-VÉKONYRÉTEG MAGNETOREZISZTÍV DETEKTOR ÉS ELJÁRÁS ANNAK ELŐÁLLÍTÁSÁRA (57) KIVONAT A találmány tárgya mágneses buborékok detektálására alkalmas kombinált vastag-vékonyréteg magnetorezisztív detektor és eljárás annak előállítására. A találmány szerinti berendezés chevron alakú mozgató elemei vastag, a közöttük lévő összekötő elemei pedig vékony lágymágneses anyagból (pl. permalloy) vannak. Az eljárás során a teljes ábrát litográflás (pl. fotolitográfiás) eljárással alakítjuk ki, úgy, hogy először a teljes ábrát vastag rétegben alakítjuk ki, majd egy újabb litográflás (pl. fotolitográfiás) eljárással az. összekötő elemeket elvékonyítjuk. Az így kialakított detektorok detektálási tulajdonságai lényegesen jobbak, az alkalmazott geometriától függően 2—10-szer nagyobb jelet adnak, mint a vastagréteg detektorok. Ez a jó tulajdonságuk párosul a jobb mozgató tulajdonságaikkal, mely a vékony permalloy rétegből álló összeköttetésekből adódik.-
