183942. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés tárgyak geometriai méretének optikai mérésére
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS '»183 942 SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A bejelentés napja: (22) 82.06.02. (21 ) 1768/82 A közzététel napja: (41 ) (42) 83.09.28. Megjelent: (45) 1987. 03. 15. Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO3 G 01 B 11/02 r^Találmán yi fy Szabadalmi Tár. . tulajdona Feltalálóik): (72) dr. HÉJJAS István, mérnök, FÁBIÁN István fizikus, Budapest Szabadalmas: (73) Műszeripari Kutató Intézet, Budapest (54) „ELJÁRÁS ÉS BERENDEZÉS TÁRGYAK GEOMETRIAI MÉRETÉNEK OPTIKAI MÉRÉSÉRE” (57) KIVONAT A találmány tárgya eljárás és berendezés tárgyak geometriai méretének optikai mérésére és méretellenőrzésére pásztázó fény-nyalábos letapogatással, célszerűen lézer alkalmazásával, oly módon, hogy a mérendő tárgyat annak ismeretlen geometriai mérete mentén a fénynyalábbal végigpásztázzuk és a tárgy mögött elhelyezett érzékelővel detektáljuk, hogy a tárgy a nyalábot mikor takarja el. A letapogató nyalábból féligáteresztő tükör segítségével referencia nyalábot hozunk létre, mely pásztázás során egy optikai rács mentén halad, így a metszett rácsvonalak számlálásával a nyaláb elmozdulása mérhető. A találmány lényege, hogy a pontosság fokozása érdekében a referencianyaláb helyzetét a rács osztás pontosságán belül interpolációval határozzuk meg. Az interpolációhoz mérjük egyrészt az egyes rácsvonalakon való áthaladáshoz szükséges időt, másrészt azt az időt, mely a mérendő tárgy kontúrpontjainál (széleinél) a legutóbbi rácsvonalra való ráfutás óta eltelt, s az interpolációt ezen idők aránya alapján számoljuk. Az eljárás megvalósítására szolgáló berendezésben a szükséges időméréseket állandó ütemfrekvenciával hajtott számláló segítségével végezzük, míg a tárgy hozott méretének interpolációs képlet alapján történő gyors számítását beépített processzor, vagy külön számológép végzi. 1. ábra
