183665. lajstromszámú szabadalom • Félvezető diafragma, félvezetős mechanikus-elektromos átalakító és erőmérő cella
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS A bejelentés napja: (22) 81. 11. 05. (21)3303/81 (33) (32) (31) A bejelentés elsőbbsége: jp 80. 11. 07. (157 313/80) A közzététel napja: (41) (42) 83. 08. 29. Megjelent: (45) mi 183665 Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZOj GOI L 1/22 ;lá9 0S Találmány., Szabadalmi Ti ^Ot-AJDONA Tár. Feltalálóik): (72) SHIMAZOE Michitaka, mérnök, MATSUOKA Yoshitaka, mérnök, Mito-shi, JP Szabadalmas: (73) HITACHI Ltd., Tokió, JP (54) FÉLVEZETŐ DIAFRAGMA, FÉLVEZETŐS MECHANIKUS-ELEKTROMOS ÁTALAKÍTÓ ÉS ERŐMÉRŐ CELLA (57) KIVONAT A találmány tárgya félvezető diafragma, félvezetős mechanikus-elektromos átalakító és erőmérő cella. A találmány lényege abban van, hogy a félvezető diafragma első nyúlvánnyal és az első nyúlványt körülvevő vékony kapcsoló elemmel, amelyben legalább két piezoellenállás van elhelyezve, amelyek egy hídáramkörnek legalább egyik részét képezik, és a vékony kapcsoló elemet körülvevő második nyúlvánnyal van kialakítva, és a diafragma két csatlakozó felülettel van kiképezve, aholis az első csatlakozó felületet az első nyúlvány egyik felülete, a második csatlakozó felületet a második nyúlványnak az első nyúlvány csatlakozó felületével ellentétes oldalán lévő felülete képezi, és a csatlakozó felületekre erőátviteli elemek vannak elhelyezve. A találmány lényege továbbá, hogy a félvezető diafragma középpontjában első nyúlvány van kiképezve, amely rugalmas kapcsoló elemmel van a peremként kiképzett és az első nyúlványt körülvevő második nyúlványhoz csatlakoztatva, és a rugalmas vékony kapcsoló elemben piezoellenállások vannak elhelyezve, és az első nyúlványhoz első betételem, a második nyúlványhoz második betételem van csatlakoztatva, és az első és a második nyúlványok vastagsága eltérő és az első és a második betételem az első és a második nyúlvány egymáshoz képesti relatív elmozdulását lehetővé tévő házrészekhez van csatlakoztatva. A találmány lényege végül, hogy a félvezető diafragma központi részén első nyúlvány van kiképezve, amelynek egyik felülete képezi a diafragma első csat- 1 ikozófelületét, továbbá az első nyúlványhoz legalább részben rugalmas kapcsoló elemmel második nyúlvány van csatlakoztatva, amelynek az első nyúlvány csatlakozó felületével ellentétes oldala képezi a diafragma második csatlakozó felületét, és a rugalmas kapcsoló elemben piezoellenállások vannak elhelyezve. F IG. IA
