183444. lajstromszámú szabadalom • Mintatartó lap katódporlasztáshoz és eljárás annak előállítására, valamint eljárás vékonyréteg bevonatok előállítására
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS 1I183444 SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI hivaVal _____ / A bejelentés napja: (22) 81.05. 19. (21 ) 1429/81 A bejelentés elsőbbsége: Módosítás elsőbbsége: 83.05.27. A közzététel napja: (41 ) (42) 83.08.29. Megjelent: (45) 87. 01.30. Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO3 C 23 C—15/00 H01 F—41/18 Feltalálóik): (72) Szabadalmas: (73) Pálfy Miklós, 40%, Böhönyey Ferenc, 25%, Palotai Géza, Villamosipari Kutató Intézet, Budapest 25%, Molnár István, 10% oki. villamosmérnökök, Budapest MINTATARTÔ LAP KATŐDPORLASZTÁSHOZ ÉS ELJÁRÁS ANNAK ELŐÁLLÍTÁSÁRA VALAMINT ELJÁRÁS VÉKONYRÉTEG BEVONATOK ELŐÁLLÍTÁSÁRA (57) KIVONAT A találmány tárgya mintatartó lap katódporlasztáshoz, amely jó hővezető anyagú, a mintával érintkező oldalon vékonyréteg bevonattal rendelkezik, melynek felületi egyenlőtlensége kisebb mint 5 mikron és a külső réteg a minta felfekvő felületének anyagával szemben közömbös, vagy azonos, vagy a felfekvő felületre kialakítandó réteg anyagával azonos, első rétege pedig minden esetben getter anyagú, célszerűen titán réteg és a rétegek vastagsága legalább 0,1 mikron. A mintatartó lapot úgy alakítják ki marással tisztított lemezből, hogy a marást követően vákuumban hőkezelik és ezzel egyidejűleg viszik fel a getter anyagú első rétedet, majd a minta anyagával szemben közömbös, vagy ' azonos, vagy a felfekvő felületre következő lépésben .kialakítandó réteg anyagával azonos réteget visznek fel. A kialakított mintatartó lap segítségével a mintatartó lapra helyezett mintán önmagában ismert módon különböző targetanyagokat és/vagy munkagázokat alkalmazva egymásután különböző anyagminőségű rétegeket hoznak létre, és legalább a vékonyréteg bevonat kialakításáig az egyes ülepítési fázisok között, ülepítésen kívül a mintát és a targeteket iners gázatmoszférában tartják. Ez utóbbi eljárás szerint az iners gázatmoszféra vagy nyugalmi állapotú, vagy lamináris áramlásban van.
