182777. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezetők és szigetelők töltött energiaállapotainak meghatározására a mély nívók tranziens spektroszkópiájával és berendezés az eljárás foganatosítására
SZABADALMI MAGYAR népköztársaság LEÍRÁS SZOLGALATI TALÁLMÁNY ß 182777 Nemzetközi osziélyezéit (51) Bejelentél napja: (22) 1981. XI. 9. (21) 3342/81. NSZOj Elsőbbség«: GOI R 31/26 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: (42) 1983. VII. 28. Megjelent: 1987. V. 25. !0<N giebadalmi Tar. - J (72) (73) dr. Ferenczi György, 31%, Boda János, 30%, Tóth MTA Műszaki Fizikai Kutató Intézete, Budapest Ferenc, 14% Horvath Péter, 15%, Budapest, Dózsa László, 5%, Érd, Benkovics László, 5%, Dunakeszi (54) Eljárás félvezetők és szigetelők töltött energiaállapotainak meghatározására és nély nívók tranziens spektroszkópiájával és berendezés az eljárás foganatosttásara (57) KIVONAT A találmány tárgya eljárás félvezetők és szigetelők töltött energiaállapotainak meghatározására a mély nívók tranziens spektroszkópiája műdszerével,amelynek során a vizsgált félvezető vagy szigetelő mintára periodikusan gerjesztő impulzusokkal ráhatást gyakorlunk, amellyel a minta kezdeti töltésállapotát megváltoztatjuk és a gerjesztés megszüntetés után a termodinamikai egyensúlyi állapotba visszatérő minta tranziens válaszjelét detektáljuk, a detektálást a gerjesztő impulzus, valamint a detektáló szerv ezt követő feléledési idejét magába foglaló holt idő együttes időtartamára letűtjuk és a detektált válaszjelet egy a gerjesztő impulzusok frekvenciájához szinkronizált szimmetrikus négyszögjellel súlyozottan integráljuk és a találmány szerint detektálási periódusonként az érintett detektálási periódust közvetlenül megelőző és követő egymással azonos két gerejesztő impulzus kezdete közötti időpontban a detektálást az említett időtartamra ismét letiltjuk és a súlyozást végző szinkronizáló impulzusokat a holt idő befejeződési időpontjához szinkronizáljuk és periódusidejüket az egymással azonos gerjesztő impulzusok periódusidejével azonosra állítjuk Az eljárás foganatosítására alkalmas berendezés az ismert OLTS berendezéstől abban különbözik, hogy 1:2 osztási frekvenciaosztót tartalmaz, amelynek bemeneté a vezérlő egységnek a holt idő végéhez szinkronizált kezdetű óraimpulzust kibocsátó kimenetéhez csatlakozik, kimenete pedig a lock-in erősítő referencia bemenetéhez csatlakozik, a vezérlő egység tartalmaz ezenkívül letiltó kimenetet, amely minden második gerjesztő impulzus létesítésének letiltására a gerjesztést létesítő szerv letiltó bemenetéhez van kapcsolva.
