182359. lajstromszámú szabadalom • Eljárás kerámiakondenzátorok elektródáinak előállítására
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS (11) 182359 JSÉi Bejelentés napja: (22) 1981. VII. 23. (21 ) (2150/81 ) Nemzetközi osztályozás: NSZO3 Elsőbbsége: (32) 1980. VIII. 13. (31) (WP H 01 G/223 286) (51) H 01 G 4/12 (33) Német Demokratikus Köztársaság ORSZÁGOS Közzététel napja: (42) 1983. IV. 28. /i^a=sn^ 1 sabadílmt Tár. ^ J TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: (45) 1986. VIII. 31. Feltalálók: (72) Steinfelder Kari oki. mérnök, dr. Dresden, Heisig Ullrich oki. fizikus, dr. Dresden, Schiller Siegfried oki. fizikus, dr. Dresden, Mehr Dietrich oki. mérnök, dr. Gera, Thuss Bemd oki. fizikus, dr. Gera, Holzmüller Karl oki. mérnök, Gera, Német Demokratikus Köztársaság Szabadalmas: (73) VEB Elektronik GERA, Betrieb des Kombinates VEB Elektronische Bauelemente Teltow, NDK (54) Eljárás kerámiakondenzátorok elektródáinak előállítására 1 A találmány tárgya eljárás kerámiakondenzátorok, elsősorban miniatűr fóliakondenzátorok és tárcsakondenzátorok elektródáinak előállítására. A szokásos eljárás kerámiakondenzátorok elektródáinak előállítására a vegyi nikkelezés, metallizáció, fémszórásos eljárás vagy szitanyomás, majd ezt követően ezüstszuszpenziók beégetése és végül vastag réz- vagy nikkelrétegek felvitele vákuumpárologtatással. Az elektródák anyagát és rétegvastagságát úgy kell megválasztani, hogy azoknak a megfelelően nagy villamos vezetőképességét egyetlen rétegelési eljárással el lehessen érni. A szükséges rétegvastagság értéke például a beégetett ezüstréteg esetében több pm, míg a párologtatással felvitt rézréteg esetében 1 pm körüli érték. Ezekre a rétegvastagságokra azért van szükség, hogy a durva kerámiafelületen egy megfelelően jó vezetőképességű réteget lehessen kialakítani. Ugyanis, ha az elektródák vezetőképessége nem kellően nagy, akkor a kondenzátor dielektromos vesztesége megnő. A viszonylag nagy rétegvastagságnak további oka még, hogy a szokásos elektróda alapanyagok, mint ezüst vagy réz, az általánosan elterjedt forrasztóanyagokkal nagy oldódási képességet mutatnak. Ezért aztán, ha a réteg túl vékony, az alkatrészek burkolása során azok villamos paraméterei roszszabbodni fognak, sőt a forrasztóréteg átötvöződése következtében a paraméterek a megengedett tűrésből ki is eshetnek. AnnaK érdekében, hogy az előírt kapacitás értéke, illetőleg annak tűrése betartható legyen, az elektródák meghatározott geometriai kiképzést kell mutassanak, valamint olyan élkiképzést, ahol az él szélessége kisebb mint 0,lmm. Abban 2 az esetben, ha a kondenzátor rétegelése valamilyen technológiai okból kifolyólag, ami például vegyi nikkelezésnél előfordulhat, nem megfelelő alakú rétegeket hoz létre, akkor a szükséges szigetelési távolság biztosítása érdekében a megfe- 5 lelő szigetelő utat utólagos megmunkálással, például köszörüléssel kell beállítani. Ebben az esetben azonban az a veszély fenyeget, hogy köszörüléskor a köszörült felület mentén az elektróda anyaga a kerámia pórusai közé bediflfundál. Fémszórásos eljárásnál, majd az azt követő elektróda be- 10 égetésnél, az elektródák megfelelő geomatriai kialakítása érdekében, szokás az, hogy az eljárás során a szórásnál sablonokat alkalmaznak. Ismeretes továbbá az is, hogy vákuumpárologtatásnál az elektródák megfelelő alakjának biztosítása érdekében mara- 15 tással vagy kivágással készült bádogmaszkokat szokás alkalmazni. Ezen eljárás során a szükséges élkiképzést a maszk és a felület közötti viszonylag nagy távolság ellenére is meg lehet valósítani, mivel a fémgőzt kibocsátó forrás igen kis felületi kiterjedésű, továbbá vákuumról lévén szó, a gőzré- 20 szecskék szabad úthossza viszonylag nagy. Ezenkívül a gőzt kibocsátó forrás és a bevonanadó felület közötti távolság többszáz mm értékű is lehet. Hátránya ennek az eljárásnak, hogy az elektródák anyaga lényegében csak valamilyen tisztafém lehet, valamint az, 25 hogy a fémgőzt kibocsátó forrás túlságosan kis élettartama miatt nem automatizálható. A DD 132 090 sz. szabadalmi leírás olyan vákuumszórásos eljárást ismertet kerámiakondenzátorok elektródáinak előállítására, ahol egy Cr vagy CrNi tapadóréteget visznek 30 fel először, majd ezt követően anélkül, hogy a vákuumot 181359 i
