181341. lajstromszámú szabadalom • Eljárás filmképző hőrelágyuló polimerek rétegelésére szubsztrátumokra
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS 181341 Nemzetközi osztályozás: fpil Bejelentés napja: 1981. V. 26 (1576/81) Elsőbbsége: 1980. V. 27. (153 636) NSZO3 : G 03 C 1/74 Amerikai Egyesült Államok ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1982. IX. 28. Megjelent: 1985. III. 30. ( Szabadalmi Tár. ' . ) 'sv^Jtuí_ ajdON Feltaláló: Cohen Abraham Bernard vegyész, Springfield, New Jersey, Amerikai Egyesült Államok Szabadalmas: E. I. Du Pont De Nemours and Company, Wilmington, Delaware, Amerikai Egyesült Államok Eljárás filmképző hőrelágyuló polimerek rétegelésére szubsztrátumokra 1 A találmány tárgya eljárás filmképző hőrelágyuló polimerek rétegelésére szubsztrátumokra. Közelebbről megvilágítva, a találmány tárgya eljárás fényérzőkeny rétegek laminálására nyomtatott áramköri lapokra mint szubsztrátumokra. 5 A nyomtatott áramköri lapok hagyományos fotorezisztens anyagokból történő előállításakor lényeges, hogy a fényérzékeny réteget olyan módon vigyük fel a szubsztrátumra, hogy a réteg szilárdan, zárványok és más folytonossági hibák (például jg szennyeződés vagy légbuborék) nélkül tapadjon hozzá a laphoz. Továbbá igen sok esetben kívánatos, hogy pülanatszerűen alakuljon ki egy erős adhéziós kötés azért, hogy a soron következő műveleti lépések elvégezhetők legyenek. 15 A 3 547 730 számú Amerikai Egyesült Államok-beli szabadalmi leírásban ismertetnek egy eljárást fotorezisztens réteg felvitelére szubsztrátumokra, mely eljárás során a réteget és a szubsztrátumot fűtött, rugóval terhelt lamináló hengerek között 20 vezetik át. A réteg felvitelét megelőzően a fotorezisztens réteget és/vagy a szubsztrátumot kívánt esetben előmelegítik. Ennek az előmelegítésnek az a célja, hogy a hengerek nyomása alatt lehetségessé váljék a réteg bensőséges érintkezése a szubsztrá- 25 turrmal, aminek révén a réteg kellő mértékben odatapad a szubsztrátumhoz, így képes elviselni a soronkövetkező eljárási lépéseket, így az oldószeres előhívást és a szubsztrátum maratását vagy galvanizálását. 30 2 A 3 629 036 számú Amerikai Egyesült Államok-beli szabadalmi leírásban egy olyan módszert írnak le, amelynek során a fotorezisztens réteg felvitelét megelőzően a szubsztrátot egy fotorezisztens oldattal bevonják. A bevonóoldat azt a célt szolgálja, hogy a kellő mértékű adhéziót elérhetővő tegye anélkül, hogy a rétegeléshez melegítést kellene alkalmazni. A bevonóoldatot úgy viszik fel, hogy a szubsztrátum felületére átitatott szövetet nyomnak. Jóllehet az eddig ismert laminálási eljárások igen sokféle alkalmazásra megfelelnek, nagy igény van precízebb és egyenletesebb laminálási eljárásokra, különösen az igen nagy vonalsűrűségű nyomtatott áramköri lapok gyártásánál. Ezért találmányunk célja, hogy olyan eljárást biztosítsunk, amely kielégíti azt a követelményt, hogy a hőrelágyuló polimereket és különösen a fényérzékeny rétegeket reprodukálható módon és egyenletes rétegben vigyünk fel a szubsztrátumra. A találmány értelmében úgy járunk el, hogy a) megtisztítjuk a szubsztrátum felületét (a szubsztrátum felületének az egyenletes vízfilm teszt szerinti tisztaságúnak kell lennie); b) a tisztítás utáni egy percen belül és közvetlenül a laminálás előtt felviszünk a szubsztrátumra egy vékony folyadékréteget; és c) a vékony folyadékréteget — amely a szubsztrátum felülete és a fényérzékeny réteg között egy határfelületet alkot — a laminálás során a fényérzékeny rétegbe való adszorbeáltatással eltávolítjuk. 181341
