181212. lajstromszámú szabadalom • Spektrométer modul torzított terű elektrosztatikus elektrospektrométerhez és modulokból álló elrendezés
J M ÂT.VAR SZABADALMI 181212 népköztarsasAg LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Nemzetközi osztályozás: :Ilt Bejelentés napja: 1980. XI. 09. (2675/80) NSZ03 : H 01 J 49/48 HRC7 ir.íiS Közzététel napja: 1982. IX. 28. /^TalálmaV^^ í . Szabadalmi Tár- . m Xsv^íy?-AJD0i!A TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: 1984. XII. 31. Feltalálók: Dr. Kövér László fizikus 20'/?, Dr. Mórik Gyula mérnök 20%, Dr. Varga Dezső fizikus 60%, Debrecen Szabadalmas: MTA Atommag Kutató Intézete, Debrecen Spektrométer modul torzított terű elektrosztatikus elektronspektrométerhez és modulokból álló elrendezés 1 A találmány tárgya spektrométer modul torzított terű hengertükör típusú elektrosztatikus eleki ronspektrométerekhez, valamint a modulok összekapcsolásával kialakított elrendezés. A találmány szerinti elrendezéssel lehetőség nyílik az elektrosztatikus elektronspektrométerek fő szerkezeti elemeinek — forrás, hengertükör, detektor — kedvező és variálható elhelyezésére. A két koncentrikus fémhengerből álló hengertü kör típusú spektrométerekben az elektronokat a különböző potenciálú, ideálisan végtelennek tekintett hengerek között kialakuló elektrosztatikus tér fókuszálja (1) V. V. Zashkvara, M. 1. Korsunskii. 0. S. Kosmechev. J. Tech. Phys. 36 (1966) 132 (2) V. P. Afanasjev. S. J. Jávor J. Tech. Phys. 45 (1975) 1137 (3) J. S. Risley, Rév. Sei. Instrum. 43 (1972) 95 (4) D. Varga, I. Kádár. Á. Kövér, L. Kövér, Gy. Mórik, Nucl. Instr. Meth. 154 (1978) 477. A véges méretű spektrométer végein a potenciáleloszlás torzulását általában koncentrikus, gyűrű alakú elektródák alkalmazásával csökkentik. A tértorzulás mértéke azonban csak a spektrométer végétől számított jelentős távolságban válik elhanyagolható mértékűvé. Ezért a forrást és a detektort a belső hengeren belül kell elhelyezni, amely elrendezés hátrányos, mert erősen korlátozza a besugárzás lehetőségeit, az XPS * 1 (röntgen-fotoelektronspektroszkópia) vizsgálatoknál, illetve más kísérleteknél rontja a bemeneti feltételeket. Hasonló a helyzet az ionnyalábokkal gyorsítóberendezéseken végzett kísérletek esetében is. Hátrányos a hagyományos megoldás azért is, mert többszörös fókuszálás esetén hosszú hengertük- 5 rök gyártását teszi szükségessé, amely a szigorú pontossagi követelmények miatt költséges. A találmány szerint kialakított rendszer abban különbözik az eddig megvalósított hengertükör rendszerektől. hogy a forrást és a detektort kiemeli a 10 spektrométer belsejéből, ezáltal az könnyebben szerelhetővé válik és rövidebb lesz. Ezt úgy éri el, hogy a koncentrikus hengerek között nem feszültségosztó elemet, hanem meghatározott helyzetű és szélességű rést alkalmaz és az elektron-nyaláb fókuszálására 15 rövid ..véges'' hengerek potenciálterét alkalmazza, amely a „végtelen” hengerek potenciálteréhez képest torzított potenciáltér. E torzított tér potenciáleloszlása analitikusan nem írható le, így az, valamint az elektronok pályája 20 csak numerikusán számítható. A spektrométer tervezésénél alkalmazott numerikus, ún. overrelaxiációs potenciálszámítási módszer, az elektronpályák számítási módszere, valamint az optimalizálási eljárás leírása az (5) Komlóssy Gy., Diplomamunka, 25 ATOMKI (1977) (6) Redler L., Diplomamunka ATOMKI (1979)-ben található. Az elvégzett numerikus számítások szerint az elektródák geometriai arányainak megfelelő kiválasztásával a torzított elektrosztatikus térben is elérhető az elektron-nyaláb 30 első vagy másodrendű fókuszálása, hasonlóan a 181212
