180502. lajstromszámú szabadalom • Keskenysávú interferencia szűrő optikai analitikai mérésekhez és eljárás annak előállítására
MAGYAR NÉPKÖZTARSASA ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI 180502 LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY A bejelentés napja: 1979. XII. 22. (MA—3257) Nemzetközi osztályozás : NSZO-5 G 02 B 5/28 A bejelentés elsőbbsége: A közzététel napja: 1982. VII. 28. SMbadai.-ni Tár. ' Megjelent: 1984. XII. 31. Feltalálók : Szabadalmas : APAI Pál, fizikus, 20%, LUTTER András, fi- MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, zikus, 80%, Budapest Budapest Keskenysávú interferencia szűrő optikai analitikai mérésekhez és eljárás annak előállítására 1 A találmány tárgya keskenysávú interferencia szűrő optikai analitikai mérésekhez és eljárás annak előállítására. Ilyen szűrőket alkalmaznak például az infravörös spektroszkópiában különböző optikai analitikai berendezéseknél, például takarmányvizsgáló berendezésnél és általában minden olyan helyen, ahol a fényspektrumból adott keskenysáv kivágása szükséges. Mint ismeretes, interferencia szűrőket igen sokféle célra és sokféle módon készítenek. Ismeretesek dielektrikum-rétegből felépített szűrők, melyek optikai tulajdonságai kedvezőek ugyan, de a fényspektrumnak csak egy részéből képesek egy keskenysávot kivágni, és ezen a tartományon kívül a fényt áteresztik. Ezeknek az oldalsávoknak a kiszűrése igen nagy technikai problémát jelent. A hagyományos fém-dielektrikum szűrők vágási tulajdonságai kedvezőbbek, azonban hatásfokuk rossz, vagy a csúcstranszmissziójuk kicsi, vagy a sávszélességük nagy. Ismeretesek olyan fémréteget is tartalmazó, de elsősorban dielektrikum rétegekből felépített szűrők is, melyek hatásfoka az előzőeknél jobb. Ilyen szűrő leírása Holloway, Lissberger: Applied Optics 1969. 08. 03. The Design and Preparation of Induced Transmission Filters című cikkében található. Az ilyen szűrők elkészítése igen nehéz, mivel a fémréteggel érint-2 kező dielektrikum rétegek vastagsága a 1/4 optikai vastagságnak nem egészszámú többszöröse, ezért ezen rétegeknek vastagságmérése a szokásos módon — szélsőérték detektálással — 5 igen nehezen oldható meg, ugyanakkor a rétegek vastagsága alapvetően meghatározza a szűrő paramétereit. A szűrő tulajdonságainak ismeretében belátható, hogy az áteresztési sáv szélessége az alkalmazott fém optikai tulajdonsá- 10 gai által korlátozott, tehát analitikai célokra nem alkalmas, másrészt a szűrő un. effektiv törésmutatója nagy, így az áteresztett fény hullámhossza a szűrő forgatásával csak kevéssé változtatható. 15 A találmánnyal célunk, a fentiekben vázolt valamennyi nehézség egyidejű kiküszöbölése, és olyan keskenysávú interferencia szűrő kialakítása, amely alkalmas optikai analitikai mérésekhez. 20 A találmány tehát keskeny sávú interferencia szűrő optikai analtikai mérésekhez, amelynek hordozó anyagon dielektrikum rétegekből álló interferencia tükörből és X/2 vastagságú közbenső dielektikum rétegből 25 álló része van. A továbbfejlesztés, vagyis a találmány abban van, hogy a tükörből és a közbenső dielektrikum rétegből álló részhez további rész van kapcsolva. Ez a rész 25—60 nm 30 vastagságú fémrétegből, és a fémréteg tü-180 502 1
