177326. lajstromszámú szabadalom • Mágneses eltérítő rendszer elektronsugaras gőzölőforráshoz
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY 177326 Bejelentés napja: 1978. XI. 22. (Hl—501) Nemzetközi osztályozás: ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1981. III. 28. Megjelent: 1982. XII. 31. H 05 B 9/00 Feltalálók : Bárány István oki. villamos mérnök. Kertész Gábor oki. villamos mérnök, Lovics Ádám oki. villamos mérnök, Nemeskérv Géza oki. villamos mérnök, Budapest Szabadalmas : Híradástechnikai Ipari Kutató Intézet, Budapest Mágneses eltérítő rendszer elektronsugaras gőzölőforráshoz í A találmány elektronsugaras, főként 240—300 -os elektronsugár eltérítésű gőzölőforrás mágneses eltérítő rendszerének kialakítására vonatkozik, amely mágneses eltérítő rendszerrel ellátott gőzölőforrás főként többkomponensű fémrétegek gőzölés útján való előállításánál al- 5 kalmazható. Elektronsugaras gőzölőforrások számos kivitelben ismeretesek. Egy korszerű 240—300'-os ívű elektronsugár eltérítési pályájú gőzölőforrásnak általános felépítését tekintve elgőzölendő anyag hordozására szolgáló tégely- io üreggel ellátott testje, a test alatt az elektronsugár pályájának megfelelő helyen elrendezett elektronforrása, főként volfram katódja, a katód mellett annak izzítására szolgáló villamos szerelvényei, valamint a katód környezetében elrendezett, izzításkor a katódból kilépő elektronok fókusz- 15 állására és sugárnyalábbá formálására szolgáló elektrosztatikus teret létesítő további villamos szerelvényei vannak. A testben az elektronsugár pályájának megfelelően nyílás van kialakítva, amit három oldalról közrefogóan másodlagos, az elektronsugár kismértékű mozgatására 20 szolgáló mágneses teret létesítő mágneses, főként elektromágneses szerelvények vannak elrendezve. Az elektronsugár 240—300°-os ívű pályáját lényegében meghatározó állandó erősségű mágneses teret mágneses eltérítő rendszerrel hozzák létre, amelynek a tégelyüreg testjét valamint a 25 villamos és mágneses szerelvényeket két oldalról közrefogó, két egymással párhuzamosan elrendezett pólussaruból álló pólussaru párja és a pójussarupárt gerjesztő állandó mágnese van. A póhjssarapár úgy va9 elrendezve, hogy a tégelyüregtől hátrafelé nyúló végével a sugárforrást vaja- 30 2 mint a villamos és elektromágneses szerelvényeket, a tégelyüregtől előrenyúló végével pedig a gerjesztő mágnest fogja közre. így a pólussarupár által létrehozott mágneses tér a tégelyüregtől előre eső és a tégely alatti térrészre is kiterjed. ami az elektronsugár eltérítése szempontjából közömbös mágneses térnek tekinthető. Az ismertetett megoldásnak több hátrányossága van. Igen lényeges hátrányosságot képez, hogy a gőzölőforrás vákuumtérben való elhelyezésénél annak helyét valamint a gőzölőberendezés egyéb, főként a gőzölőforrás környezetében, elsődlegesen alatta elhelyezkedő szerelvényeinek anyagát gondosan kell megválasztani, mivel nem kellő figyelemmel történő elhelyezés vagy anyagmegválasztás esetén a szerelvények a gőzölőforrás működéséhez szükséges mágneses teret íesöntölhetik, vagy a vákuumkamrát egyébként túlméretezetten elegendően nagyra kell választani ahhoz, hogy a gőzölőforrás az ilyen söntölö hatású szerelvényektől kellő távolságra legyen elhelyezhető. További lényeges hátrányosság még, hogy az ismert kialakítású gőzölőforrások mágneses eltérítő rendszerének tere olyan kitetjedésű, hogy két vagy több gőzölőforrás egymástól csak viszonylag távolra helyezhető el egy vákuumkamrában, hogy nemkívánatos egymásrahatásuk elkerülhető legyen. Ez igen komoly nehézséget jelent többkomponensű ötvözött rétegek közös vákuumtérben elhelyezett több, egyszerre üzemeltetett gőzölőforrással való előállításánál. Az ismertetett nehézségek és hátrányosságok szükségessé tették az elektronsugaras gőzölőforrásokhoz olyan mágneses eltérítő rendszer kialakítását, amely biztosítja az 177326
