176528. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és kapcsolási elrendezés elosztott paraméterű csillapítók trimmelés közben történő bemeneti, kimeneti reflexiójának és csillapításának egyidejű mérésére
MAGYAR SZABADALMI 176528 NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS A. SZOLGALATI találmány É â l Nemzetközi osztályozás : Bejelentés napja: 1978. XI. 22. (Hl—502) G 01 R 27/06 Elsőbbsége: rau«« SX ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1980. VIII. 28. Megjelent: 1981. IX. 30. l# * J maion ^ Feltalálók: Szabadalmas: Sonkoly Aurél, oki. villamosmérnök, 50% Híradástechnikai Ipari Kutató dr. Földvári Rudolf, oki. villamosmérnök, 30% Intézet, Budapest Walton Gusztáv, oki. villamosmérnök, 20% Budapest Eljárás és kapcsolási elrendezés elosztott paraméterű csillapítók trimmelés közben történő bemeneti, kimeneti reflexiójának és csillapításának egyidejű mérésére 1 A találmány tárgya olyan eljárás és azt megvalósító kapcsolási elrendezés, mely elosztott paraméterű csillapítók trimmelésére szolgál. Az eljárás lényege, hogy a bemeneti és kimeneti reflexiót különböző frekvenciákon, a csillapítást pedig az alkalmazott frekvenciák egyikén egyidejűleg mérjük és értékeljük. Ismeretes, hogy a hagyományos diszkrét elemekből, például ellenállásokból felépített csillapítók néhány száz MHz felett a névleges paramétereik lényegesen romlanak az előírtaktól. Például nagyfrekvenciás generátorok kimeneti osztójában létrejött nagy reflexió miatt a generátor szintje nagyságrendi ingadozást is mutathat. Elsősorban ezen ok miatt a gyakorlati életben a hagyományos elemekből felépített csillapítókat nagyfrekvenciás technikában nem alkalmazzák. Korszerű és az igényeket kielégíti az osztott paraméterű csillapítók alkalmazása. Az elosztott paraméterű csillapítók egyik leggyakrabban alkalmazott alapstruktúrájú kivitelét az 1-es ábrán mutatjuk be, ahol az a ellenállásréteget, a b vezetőréteget jelent. Közismert, hogy az elosztott paraméterű csillapítók gyártásának alapvető problémája a pontos geometria betartása és az ellenállást adó réteg négyzetes ellenállásának beállítása. Ismeretes, hogy a gyártó művek az elosztott paraméterű csillapítók gyártásánál törekednek a lehető legnagyobb geometriai pontosság elérésé-2 re. Azonban a csillapítók igen kis méretei miatt a leggondosabb gyártás esetén is nagy szórást eredményez. E méretbeli szórás kihat az elektromos paraméterekre is. A geometriai pontatlan- 5 ságból keletkező paraméter szórást növeli még a felhordott ellenállásréteg egyenetlensége és a tervezett vastagságtól való eltérés. Ezen hibákat a gyártó vállalatok úgy törekednek kiküszöbölni, hogy egyrészt a megadott ér- 10 tékek szerint válogatják a legyártott áramköröket, másrészt pedig valamilyen trimmelő eljárással a kívánt értékre állítják be. A gyakorlati életben számtalan trimmelési eljárás létezik, melyek illeszkednek az alkalmazott 15 technológiákhoz, pl.: lézersugaras, elektrogravírozós és a homokfúvós eljárások. Ezen eljárásokra közösen jellemző, hogy a beállítandó réteg egyenletes vékonyítása nem oldható meg megnyugtató módon. Korszerű és megbízható trim- 20 melési eljárás, amelyet napjainkban egyre szélesebb körben alkalmaznak, főleg a vékonyréteg technológiában az oxidációs eljárások. Ilyen technológiákat ír le a BME Továbbképző Intézet Bp. 1974. évi kiadású könyvében Rip- 25 ka Gábor „Szigetelő alapú integrált áramkörök konstrukciója és technológiája” című könyvében és a W. D. Westwood, N. Waterhouse and P. S. Wilcox. Tantalum thin films 1975. Academic Press London New York San Francisco. A sub- 30 sidiary of Harcourt Brace Ivanovich, Publishers. 178528
