176350. lajstromszámú szabadalom • Fénysugáradó
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Bejelentés napija: 1977. IX. 07. (VI—1147) 176350 Nemzetközi osztály ozás: F 21 V 11/08, G 02 B 27/00 Közzététel napija: 1980. VII. 28. ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: 1981. VII. 31. Feltalálók: Szabadalmas: Dr. Ember György oki. villamosmérnök, Borbás Ferenc technikus, Budapest Villamos Berendezés és Készülék Művek, Budapest Fénysugár-adó 1 A találmány tárgya fénysugár-adó fényíró berendezéshez, különösen mikroáramkörök, nyomtatott áramkörök maszkjának készítéséhez, amely fénysugár-adó a fényíró berendezés íróeszközét alkotja, és amely fénysugár-adónak fényforrása és fényte- 5 relő eszköze van. Mikroáramkörök, nyomtatott áramkörök maszkjának készítését korábban műszaki rajzolók végezték oly módon, hogy a maszk rajzát többszörösen nagyított méretben készítették el és erről foto- 10 technikai úton kicsinyítéssel készült a maszk. Az eljárás az igényeknek nem felel meg a rajzolási pontatlanságok, a kicsinyítéskor fellépő mérettorzítások és vonaléletlenség, valamint az eljárás kis termelékenysége miatt. 15 A fenti eljárás hiányosságait jelentősen lecsökkenti az az ismert eljárás, amelyben numerikusán vezérelt fényíró berendezést alkalmaznak, amellyel filmre az áramkör maszkjának rendszerint 1 :1 méretarányú rajzát készítik el. 20 Az alkalmazott fényíró berendezés numerikusán vezérelt koordináta-rajzgép, amelynek írófejében fénysugáradó van elrendezve. A koordináta-rajzgép a fénysugáradót végigvezeti a fényérzékeny anyag (film) fölött néhány mm magasságban, az elkészí- 25 tendő áramkör vonalai mentén. A koordináta-rajzgépek rajzolási pontossága kielégítő, a termelékenységet az írófej mozgási sebessége szabja meg. Az írófejben alkalmazott fénysugár-adók előnytelenül nagy tömegűek és költségesek. 30 2 Különféle megoldású fénysugár-adók ismeretesek:, így: a fénysugár-adó fényforrása villamos izzólámpa, amely vagy az írófejen, vagy rögzített ponton van elrendezve, amely utóbbi esetben például száloptikán át vezetik a fénysugarat a mozgó írófejre. Az írófejen a fénysugarakat a fényérzékeny anyag síkjában fókuszáló vetítő optika van elrendezve, amely fényáteresztő nyílást leképező lencserendszer. Ahhoz, hogy ezt a viszonylag nagy tömegű fénysugár-adót pirecízen pozícionálni, a kívánatos rajzolási sebességnél fellépő nagy gyorsulással indítani és megállítani lehessen, a rajzgépet mechanikailag túl kell méretezni és kiegészítő mechanizmusokkal kell ellátni, emiatt a fényírásra alkalmas koordináta-rajzgépek nagyon költségesek. Az ismert fénysugár-adók további hiányossága a vetítő optika alkalmazásából amiatt adódik, hogy az írófej távolsága a fényérzékeny anyagtól gyakorlatilag nem állandó — leginkább azért, mert a fényérzékeny anyag nem tökéletesen sík felületű, de az írófej rezgései miatt is változik a fénysugár-adó — fényérzékeny anyag távolság. Az optikai rendszer élessége csak egyetlen előírt távolságon optimális, a távolság ingadozásával egyrészt a vonal élessége, másrészt a vonal szélessége (a megvilágított pont átmérője) változik. Célunk a találmánnyal a fenti hiányosságok kiküszöbölése olyan fénysugár-adó kialakításával, 176350