176088. lajstromszámú szabadalom • Tűtartó févezető CHIP-ek vizsgálatára
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS 176088 Bejelentés napja: 1978. I. 30. (EE—2547) Nemzetközi osztályozás: w Elsőbbsége: Német Demokratikus Köztársaság: 1977. III. 21. (WP G 01 R/197 946) G 01 R 31/26 ORSZÁGOS Közzététel napja: 1980. VI. 28.j TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: 1981. VI. 30. Feltalálók : Seewald Werner oki. mérnök, Drezda, Gocht Hartmut oki. mérnök, Radebeul, Krüger Karl-Heinz mérnök, Drezda, Német Demokratikus Köztársaság Szabadalmas: VEB Elektromat, Drezda, Német Demokratikus Köztársaság Tűtartó félvezető CHIP-ek vizsgálatára 1 A találmány tárgya tűtartó félvezető chip-ek vizsgálatára. A vizsgálandó chip-ek szokásosan félvezetőtárcsákon helyezkednek el a villamos paraméterek mérése során félvezető kapcsolási elemek gyártásakor. Fenti célra alkalmazott tűtartó szerkezetek különböző kiviteli alakjai már ismeretesek. Az egyik kiviteli alakot a 3 453 545 sz. USA szabadalom ismerteti. Eszerint egy alaptesthez — amely stabil rugalmatlan alakban van kialakítva — kontaktanyagból készített olyan vékony huzal van rögzítve, amely tűszondát alkot. A tűszonda a félvezető elemmel érintkezik. A z-tengely szerinti magassági méret beállítását rugóval előfeszített és csavarral állítható emeltyű teszi lehetővé, amelybe a tütartó be van foglalva. Ennek a szerkezetnek az a hátránya, hogy igen bonyolult, az állítási lehetőség előnytelen, mert a tűtartó elhajló tömege igen nagy. A tű hegyének a félvezető chip-ek bond-szigeteinek érintkeztetéséhez viszonylag túl nagy erőre van szükség. A 3 611 128 sz. USA szabadalom szerinti megoldás olyan szerkezetet ismertet, amelynél a tű helye a tűtartót alkotó lemezcsíkból van kimunkálva. A kis rugónyomás lehetőségét a lemezszalagban vízszintes irányban kimunkált rés teszi lehetővé. Ezt a szerkezetet többszörösen, azaz több tűtartóval párhuzamosan lehet elhelyezni. Hátránya abban van, hogy ez az élére állított szalaglemez a terhelés hatása alatt oldalirányban kitér. További hátránya, hogy az egymással párhuzamosan szerelt több tütartó miatt két, egymással szomszédos bondsziget közötti távolság miatt a beállítás igen nehézkes, mert a tütartók közötti esetleges rövidzárlat lehetőségét 2 meg kell akadályozni. Ezen szerkezeti kialakítás esetében hátrányos továbbá, hogy a tűtartó — ha a tű hegye már lekopott — már nem használható fel. Az is hátrányos, hogy a tűtartót az újbóli beépítés után csak jelentős munkaidőráfordítással lehet ismét beállítani. A 3 781 681 sz. USA szabadalom olyan szerkezetet ismertet, amelynél a tű hegyét egy hegyesedően kiképzett szalaglemez alkotja, amely egy alaptesthez van rögzítve. Ez az alaptest több csatlakozó elem útján van az ún. tűkártyához rögzítve. Ez a szerkezet azért hátrányos, mert bonyolult szerkezetű, igen nagy a tömege és nem rugalmas. Hátrányos továbbá, hogy az újonnan beépített tűtartónál a beállítás művelete igen bonyolult. Egy további ismert megoldást a 3 810 017 sz. USA szabadalom ismertet. Ezen megoldás szerint maga az alaptest van tűtartóként kialakítva. Az alaptest a tűkártyához egyik oldalán villamosán csatlakozik, másik oldalán olyan rugalmas kengyellel rendelkezik, amely egy csavar segítségével valamint a csavar és a kengyel között elhelyezett súrlódást csökkentő golyó alkalmazásával ztengely irányban állítható magasságú. A kengyelhez egy forrasztható anyagú csövecske van forrasztva, és benne kontaktanyagból készült vékony huzal van villamos vezetést biztosító módon elhelyezve. A huzal egyre vékonyodik, szabad végén pedig hajlított tűhegy alakjában van meggörbítve. A meghajlított tűhegy a félvezető chip bond-szigetének érintkeztetésére alkalmas felülettel rendelkezik. Több hasonló tűtartó egymással összekötve a félvezető chip-ek villamos paramétereinek mérésére szolgál. Ennél a megoldásnál hátrányos, hogy a tűként 5 10 15 20 25 30 176088
