175084. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető anyagokon vékony rétegek kialakítására alkalmas oldatok előállítására
MAGYAR SZABADALMI 175084 népköztársaság i LEÍRÁS Bejelentés napja: 1976. III. 15. (GI-242) Nemzetközi osztályozás: Közzététel napja: 1979. XI. 28. H 01 L 21/02 B 01 J 17/36 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: 1981.1. 31. Feltalálók: Gtibov Boris Georgievich, Salamatin Boris Alexandrovich, Kuzmina Tatyana Alexeevna vegyészek, Zinoviev Konstantin Vladimirovich mérnök, Moszkva, Szovjetunió Eljárás félvezető anyagokon vékony rétegek kialakítására alkalmas oldatok előállítására 1 A találmány tárgya eljárás olyan oldatok előállítására, amelyekből félvezető anyagokon foszfor-diffúzió forrásként szolgáló, foszforral adalékolt vékony rétegek választhatók le. Az oldatok a félvezető mikroelektronikában tranzisztor szerkezetek és integrált áramkörök készítéséhez alkalmazhatók. Az irodalomban leírásra kerültek eljárások olyan vékony rétegek kialakítására alkalmas oldatok előállítására, amelyek közelebbről optikai eszközök különböző reflexiós tulajdonságú optikai bevonatok, megvilágított és optikai szűrők világosítására használhatók (Sujkowskaja N.W., Chemische Methoden zur Herstellung dünner transparenter Filme, Verlag „Chimia”, Leningrad, 1971; Schreder H., Abscheidung von Oxydschichten aus organischen Lösungen, 8. Sammelband; Physics of this films, edited by G. Huss and Rudolf E. Thuvi, volum V. 1969, Academic Press, New York and London). Az eljárások lényege, hogy tetraetoxi-szilánt egymás után valamely szerves oldószerrel és vízzel kevernek össze, majd a kapott elegyhez savas katalizátort és ásványi savat, így például sósavat, salétromsavat adnak, 0,1 mól|liter mennyiségben. A kapott oldatot néhány napon vagy órán át érlelés céljából állni hagyják. Az ismert eljárások egy másik csoportjával olyan vékony rétegek kialakítására alkalmas oldatok állíthatók elő, amelyek félvezető anyagok különféle adalékanyagokkal való doppdására használhatók fel. Ilyen 175084 2 adalékanyagok lehetnek például: a bőr, antimon, arzén, cink. (Lásd például a 3 660 156 számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi leírást.) A fenti amerikai egyesült államokbeli szabadalmi 5 leírásban ismertetett eljárás szerint a tetraetoxi-szilánt, az adalékoló anyagot, például B(OC2H5)3-ot és a katalizátort, így például titán-tetrakloridot különkülön egyszerűen feloldják valamely vízmentes szerves oldószerben, például vízmentes etilalkoholban. 10 Ezután a három oldatot összeöntik, meghatározott térfogatú jégecetet adnak az elegyhez, majd az egészet érlelés céljából mintegy 48 órán át légmentesen lezárt tartályban tartják. Az érlelés végére az oldat felhasználásra kész állapotba kerül. 15 Ennek az ismert eljárásnak azonban szükségszerű velejárója a vízmentes etilalkohol - vagy valamely más, vizet nem tartalmazó szerves oldószer — felhasz - nálása, és maga az eljárás bonyolult, a készített o! ia tok erősen higroszkóposak és fölösleges mennyiség 20 ben tartalmaznak ecetsavat, ami csökkenti az oldatok stabilitását és rontja a belőlük előállítható vékony rétegek tulajdonságait. Hasonló eljárást ismertet a 75 103 533 számú japán közzétételi irat. Az eszerint előállított oldat azonban 25 szerves rétegképző komponenst is tartalmaz, amely kedvezőtlen hatással van a kapott oldat élettartamára; higroszkópos komponenseket, így bór-szeszkvioxidot és foszforpentoxidot tartalmaz, ami rontja az oldat kezelhetőségét; és elkészítéséhez szilán-halogenideket 30 használnak, amelyek illékonyságuk és erős hidrolizáló
