173549. lajstromszámú szabadalom • Berendezés munadarabok továbbítására, ionsugárnyalábbal való kezelés céljábólól
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS 173549 Æfek-Nemzetközi osztályozás: w Bejelentés napja: 1975. V. 14. (ZA-384) Közzététel napja: 1978. XI. 28. H 01 J 37/20, H01 L 21/26 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI Megjelent: 1979. VIII. 31. HIVATAL Zaitseva Aita Konstantinovna villamosmérnök, Moszkva, Zhukov Evgeny Grigorievich gépészmérnök, Ivanteevka Moskovskoi oblasti, Lipinetsky Naum Yakovlevich gépészmérnök, Moszkva, Szovjetunió Berendezés munkadarabok továbbítására, ionsugárnyalábbal való kezelés céljából 1 A találmány tárgya berendezés munkadarabok továbbítására ionsugárnyalábokkal történő kezelés céljából. A berendezést a technika különböző területein lehet alkalmazni olyan berendezésekkel együtt, amelyekben a kívánt közeget, pl. folyadék- 5 áramot vagy gyorsított feltöltött vagy neutrális részecskékből álló áramot hoznak létre. Különösen jól alkalmazható a berendezés félvezető lamelláknak az ütközési síkhoz való továbbítására (ionbesugárzó berendezéseknél) amikor a lamellafelü- 10 leteket gyorsított ionsugárnyalábokkal kezelik. Ismeretes olyan berendezés, amellyel a munkadarabok továbbítását — több száz darabét — kétoldali ionsugárnyalábbal történő kezelés céljából meg lehet valósítani. 15 Mivel a találmány szerinti berendezés jellegzetességeit — ezzel az említett ismert berendezéssel összehasonlítva — részletesen le fogjuk írni, a rajzokon az ismert berendezést is ábrázoltuk. így az 1. és 2. ábrák azt az ismert berendezést 20 ábrázolják két nézetben, amellyel munkadarabokat ionsugárnyalábokkal való kezelés céljából továbbítani lehet, és amelynek szállítóegysége van, amely két csillagkerék között kifeszített láncból van kialakítva. 25 A 3. ábra a munkadarabok továbbítását ábrázolja ionsugárnyalábokkal való kezelés céljából abban az esetben, ha az ionsugárnyaláb tengelye és a megdolgozandó felület síkja egymással nem 90°ot zár be. 30 2 A 4. és 5. ábrák az ionsugárnyaláb pályáját ábrázolják vázlatosan két nézetben. A berendezés légtömör 1 házból áll (1. ábra) amelybe 2 szállítóegység van rögzitve. A 3 ionsugárnyaláb belépő oldalánál a berendezésen két 4 és 5 ablak van, amelyeken át a 3 ionsugárnyaláb áthalad. A 4 és 5 ablakokat 6 és 7 ajtók zárják le, amelyek az íonbesugárzó berendezés ütközőlapjának síkjában fekszenek, és amelyen keresztül a 3 ionsugárnyaláb áthalad. A 6 és. 7 ajtókba 8 szondák vannak beépítve, amelyekkel a 3 ionsugárnyaláb sűrűségének eloszlását lehet mérni és szabályozni. A 6 és 7 ajtókat a 9 és 10 fogantyúk elforgatásával lehet nyitni. A 4 és 5 ablakok mozgatható csappantyúkkal vannak ellátva, amelyeknek segítségével az ablakok szélessége beállítható . A légtömör 1 ház 12 karimával van ellátva, amellyel az ionbesugárzó berendezéshez csatlakoztatható, amelyet a rajzon pont vonallal ábrázoltunk. Az 1 házon további 13 karima van, amelyre 14 fedél csatlakozik, hogy az 1 házat légtömören lezárja. A 14 fedél levétele után a 15 kazettát a kezelendő munkadarabokkal meg lehet tölteni. A 15 kazettába — a munkadarabok nagyságának és az ütközőlap felületének egymáshoz való viszonyától függően - egy vagy több kezelendő munkadarabot lehet behelyezni. A 2 szállítóegység 16 láncból áll, amely két csillagkerék között van kifeszítve, a 17 hajtókerék 173549
