169774. lajstromszámú szabadalom • Eljárás villamos ellenállások előállítására
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1973. XI. 19. Elsőbbsége: Német Szövetségi Köztársaság 1972. XI. 20. (P 22 56 770.0) Közzététel napja: 1976. VIII. 28. Megjelent: 1977. XII. 31. (Sí—1357) 169774 Nemzetközi osztályozás: H 01 C 17/14 Feltalálók: Dr. ENGL Alfred vegyész, Regensburg, MARTH Kurt fizikus, Regensburg, Dr. STÖVER Peter vegyész, Regensburg, Német Szövetségi Köztársaság Tulajdonos: Siemens Aktiengesellschaft, München, Német Szövetségi Köztársaság és Nyugat-Berlin Eljárás villamos ellenállások előállítására i A találmány tárgya eljárás villamos ellenállás előállítására egy szervetlen, szigetelő és szilíciumtartalmú anyagból álló hordozóra kicsapatott és elemi szénből álló vezető réteg alakjában, melynek mindkét végén villamos csatlakozás van, melynél először a hordozó felü- 5 letét megtisztítjuk, és azután egy, magas hőfokon elemi szén hőbomlásos kicsapatására alkalmas reakciógáz hatásának tesszük ki olyan körülmények között, hogy rajta egy szilárdan tapadó, elemi szénből álló réteg keletkezik. 10 Az ilyen eljárás önmagában ismert. Lehetséges például az 1 119 975 számú német DAS szerinti módon előállítani. Az ott leírt eljárás egy marató eljárás szénréteges ellenálláselemek keményporcelán hordozók előkezelésére hidrogénfluoridos puffer oldattal. Egy szilícium- 15 oxid tartalmú, például kerámia szigetelő anyagból készült hordozónak a hőbomlásos elemi szénréteg felhordása előtti, maratásos kezelésével elérhető, hogy a hőbontással létrehozott szénréteg szilárdan tapad a hordozó felületére és ezzel mechanikailag ellenállóbb lesz. 20 Különösen elkerülhető, hogy mechanikus igénybevételnél a szénréteg a hordozóról leváljék és az ellenállás ezáltal megszűnjön. Mindamellett a hordozó hígított fluorsavas maratásánál sok hátrány jelentkezik: a) egy adagon belül azonos minőségű maratás a kerá- 25 miai hordozó összes felületén nehezen érhető el; b) gyakran túlmaratás lép fel, ami a maga részéről az ellenállás rétegek rövidebb élettartamához vezet melegen való tároláskor és terheléskor; c) a kerámiai hordozók a két munkafázis, a „mára- 30 tás" és a „szénbevonás" között meghatározhatatlan szennyeződésnek és — a két munkafázis végrehajtása közötti nagyobb időeltolódás esetén — a felület inaktivizálódásának vannak kitéve; d) mivel a hígított fluorsavval való különböző mértékű kezelés a hordozók felületi minőségét és ezzel együtt a heterogén felületkatalizált gázreakcióként lejátszódó hőbomlás sebességét és ugyanakkor a szénréteg vastagságát is befolyásolja, az a) pont alapján az egyenletes, pontosan meghatározott vastagságú szénréteg kialakítása nagyon nehéz. Ezeknek a hátrányoknak a kiküszöbölése érdekében a találmány szerint úgy járunk el, hogy a szénréteget egy fluortartalmú folyékony szénvegyületből csapatjuk ki, a hordozó hőmérsékletét és/vagy a reakciógáz összetételét alkotóiból és/vagy a gáznyomást úgy választjuk meg, hogy a fluortartalmú szénvegyületek hőbomlási termékei megtámadják a szilíciumtartalmú hordozót, ezt követően a felhevített hordozó felületére az elemi szenet kicsapatjuk anélkül, hogy az előkészítő maratás és az azt követő szénréteggel való bevonás között még egyszer egy oxidáló közeggel, főleg levegővel érintkezésbe kerülne. Jelentős előnye az eljárásnak az, hogy a hordozó marató kezelése és a szénréteg felhordása közvetlenül egymás után, ugyanazon reakcióedényben mehet végbe. Elmaradnak tehát a szokásos eljárásoknál a különálló munkafázisokból adódó járulékos költségek. Ezen túlmenően kiküszöböljük az összes fent említett hátrányokat. 169774 1
