166736. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nagy megbízhatóságú, háromdimenziós nyomtatott áramkörök előállítására

MAGYAR SZABADALMI 166736 NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY jgi^k Nemzetközi osztályozás: •«3r Bejelentés napja: 1973. III. 22. (MA—2464) H 05 k 3/24 ^w Közzététel napja: 1974. XII. 28. ORSZÁGOS \, ' ' ' " j-í TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: 1976. XI. 30. Feltalálók: Csipka László villamosmérnök, 12,5%, Horváth János gépészmérnök, 12,5%, Polereczky Gábor vegyész, 25%, Uzsoky Miklós villamosmérnök, 25%, Dr. Vörös Károly villamosmérnök, 25%, Budapest Tulajdonos: Magyar Tudományos Akadémia Számítástechnikai és Automatizálási Kutató Intézete, Budapest Eljárás nagy megbízhatóságú, háromdimenziós nyomtatott áramkörök előállítására i A integrált áramkörök alkalmazása megköveteli a háromdimenziós nyomtatott áramkörök felhasználását. A háromdimenziós, vagyis a kétoldalas, furatgalvanizált, illetve többrétegű nyomtatott áramkörök gyártására sok eljárás ismeretes. Az eljárások közös 5 vonása, hogy rendkívül bonyolultak, költségesek, munkaigényesek és nagy selejtszázalékkal alkalmazhatók. A bonyolult és sok lépésből álló technoló-' giákkal készült munkadarabok leginkább veszélyez- 10 tetett helye a két oldal, illetve a több réteg közötti villamos összeköttetést biztosító fémezett furatfal és az a művelet, amellyel a villamos összeköttetést jelentő furatfalat kell maradéktalanul megóvni a maratószer hatásától. 15 A furatfalak maratószerrel szembeni védelmére sok módszer ismeretes. Legelterjedtebbek az úgynevezett PANEL, vagy PATTERN PLATING eljárások, amelynek során — függetlenül attól, hogy kétoldalas, vagy többrétegű 20 furatgalvanizált nyomtatott áramkörről van-e szó — az 1 ... 2 [xm vastag, árammentes úton leválasztott — rendszerint — rézbevonatot galváneljárással, egy, vagy több lépésben, legalább 20 |xm vastagságúra hizlalják a nagyobb megbízhatóság és villamos ter- 25 helhetőség érdekében. Az eljárás típusától függően, az alkalmazott elektrolitoknak és galvanizálásnak ellenálló -^ a hozzáértő számára ismert szitanyomással vagy fotomechanikai módszerrel — a furatozással összhangban negatív áramköri ábrát létesítenek 30 a furatgalvanizált munkadarab mindkét oldalán. A negatív ábrázolás értelmében szitanyomattól, illetve a megfelelő hullámhosszú fény hatására szelektív oldószerben oldhatatlanná váló bevonattól — a továbbiakban fotoreziszttől — mentesek maradnak mindazok a felületek, amelyek a felesleges fémfelületek maratással történő eltávolítása után a nyomtatott áramkörök vezetékei, átvezetései, vagy nyomtatott alkatrészei lesznek. Ezeken a fedetlenül hagyott, a hozzáértők számára ismert módon fémtisztává tett rézfelületen ezután galvánbevonatot, illetve bevonatrendszert létesítenek, amely ellenáll olyan maratószereknek, amelyek a rezet oldják, de a galvánbevonatot nem. E galvánbevonat anyaga leggyakrabban ön, ón-ólom, ón-nikkel, arany. Amikor a galvánbevonat vastagsága az alkalmazott maratószerrel szembeni védelemhez elegendő, illetve megfelel a kívánt technológiai követelményeknek, abbahagyjak a réteg növelését, majd megfelelő szerves oldószerrel eltávolítják a szitanyomatot, vagy fotorezisztet, azaz rézfelületeket tesznek szabaddá. A fedetlen rézfóliát ezután vegyi maratással eltávolítják. Az alkalmazott ismertebb maratószerek a következők: krómsav-kénsav, ammóniumperoxidiszulfát oldatok, kénsav-, vagy sósav-hidrogénperoxidos rendszerek, lúgos, általában nátriumklorit alapú oldatok. Az eljárásoknak sok hátránya van. A furatfalak kellő vastagságú és szelektív maratószernek ellenálló minőségű fémbevonatának előállítására hossza-166736 1