165084. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és készülék fényvisszaverő felületű testek vastagságának mérésére

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI 1 HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Bejelentés napja: 1972. II. 2. (MA-2314) Közzététel napja: 1974.1. 28. Megjelent: 1976. III. 31. 165084 Nemzetközi osztályozás: G 01 b 19/00 Feltaláló: GÁL Mihály fizikus, Budapest Tulajdonos: s' *"ar Tudományos Akadémia Műszaki Fizikai Kutató Intézete, Budapest Eljárás és készülék fényvisszaverő felületű testek vastagságának mérésére 1 A találmány tárgya eljárás és készülék fényvisszaverő felületű testek vastagságának illetőleg ilyen lépcsős testek lépcsőmagasságának optikai úton történő mérésére, különösen a 0,5.. .500 ßm tartományban. 5 A néhány mikron vastagságú kristályok vastagságának megállapítása általában problémát okoz. A minta túl vékony ahhoz, hogy rugós mikrovastagságmérőt lehessen használni, mivel a mérőtű ráhelyezésekor az ilyen vékony minta könnyen elpattan. Interferomet- 10 rikus vastagságmeghatározáshoz komplex és drága műszerekre van szükség, amelyek ritkán állnak rendelkezésre. A találmány tárgyát képező vastagságmérési eljárás és készülék lehetővé teszi kisméretű tárgyak pl. 15 kqstályok vastagságának mérését 0,5 ^im-tó'l néhány száa mikronig terjedő tartományban. A mérés optikai úton történik, ezáltal a minta eltörésének veszélye kiküszöbölődik. A kijelzés pozíció-érzékeny fotóérzékelő elem útján villamosan történik. Pozíció-érzé- 20 kény fényérzékelő elemet ismertetnek a Finommechanika c. folyóirat 1971. évi 10. évfolyamának 297-298. oldalain és a 1-61 916 lajstromszámú magyar szabadalmi leírásban. A találmány szerinti készülék felépítése egyszerű, nem igényel sok alkat- 25 részt, és lehetővé teszi a mérendő test vastagságának lokális mérését is, azaz a kristály felülete mentén több helyen (kb. 50-100 mikrononként) lehetséges a vastagság mérése. A találmány tárgya tehát egyrészt eljárás fény- 30 visszaverő felületű - különösen Ó,f .500 /ím vastag — testek vastagságának optikai mérésére, amikor is a test fényvisszaverő felületére ferdén fénysugarat ejtünk és a testről visszavert fénysugarat érzékeljük, és az jellemzi, hogy a mérendő testet fényvisszaverő tartólapra helyezzük, a testről visszavert fénysugár útjába pozíció-érzékeny fényérzékelő elemet helyezünk, majd mérjük a testről visszavert és a test nélkül csupán a tartólapról visszavert fénysugár által a fényérzékelő elem kimenetén keltett feszültségek különbségét. A találmány szerinti eljárás egy változata szerint fényvisszaverő felületű lépcsős testek lépcsőmagasságának mérésére a lépcsős test fényvisszaverő felületére ferdén fénysugarat ejtünk és a testről visszavert fénysugarat érzékeljük, és az eljárást az jellemzi, hogy először a fénysugarat a lépcsős test lépcsőjének egyik lapjára, majd a másik lapjára ejtjük, a visszavert fénysugarak útjába pozíció-érzékeny fényérzékelő elemet helyezünk, és mérjük a két lapról visszavert fénysugár által a fényérzékelő elem kimenetén keltett feszültségek különbségét. Ugyancsak tárgya találmányunknak fényvisszaverő felületű testek vastagságának illetőleg ilyen lépcsős testek lépcsőmagasságának mérésére szolgáló készülék is, amelynek a mérendő testre ferdén beeső fénysugarat előállító optikai berendezése és a mérendő testről visszavert fénysugarat érzékelő eszközei vannak, és az jellemzi, hogy a mérendő test elhelyezésére fényvisszaverő felületű tartólapja, és a tartólapról 165084 1