162081. lajstromszámú szabadalom • Mikrohullámú plazmatron

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1970. XII. 04. (GO—1151) Közzététel napja: 1972. VII. 28. Megjelent: 1974. VI. 29. 162081 Nemzetközi osztályozás: H 05 h 1/18 Gontarev Gennady Gennadievich mérnök, Blinov Leonid Mikhailovich mérnök, Volodiko Vladimir Vasilievich mérnök, Lysov Georgy Vasilievich mérnök, Zamorenov Anatoly Timofeevich mérnök, Thukhin Andrei Vasilievich mérnök, Moszkva, Szovjetunió Mikrohullámú plazmatron 1 A találmány tárgya plazmatechnika, nevezetesen mikrohullámú plazmatron, amelyet számos kémiai technológiai folyamat foganatosításához alkalmazhatunk. Ilyen folyamat ve^ gyületek szintézise, szerkezeti anyagok meg- 5 munkálása plazmában, bevonatok fölvitele, stb. Ismeretes olyan plazmatron (1. például ,,Ki-. nematik und Thermodynamik chemischer Reaktionen im Niedertemperaturplasma,,, L. S. Pola, Verlag „Nauka", Moskau, 1965), amelyet 10 Hio hullámmal működtetnek és amely négy, szög keresztmetszetű caőtápvonalból áll, amikoris a csőtápvonal szélesebb oldalai kvarcból készült gázkisütő kamrával vannak áthatásban. E plazmatronnak továbbá gázbtvezető vezetéke. 16 valamint a generátort reflektált mikrohullámú energiától védő cirkulátora van. Az ismert plazmatron villamos szempontból koaxiális csőtápvonal átmenet, amelynél a plazmasugár középső vezetőként érvényesül. 20 Az ismert plazmatronoknál a teljesítmény átvitele a plazmába korlátozva van, mert össze^függ a gázhőmérséklet növekedésével. Ez a hőmérséklet növekedés fokozza a plazma vezetőképességét. Következésképpen a mikrohul- 25 lámú energia a plazmasugárról erősebben verődik vissza és a plazmatron összhatásfokának csökkenését okozza. Szükség van olyan cirkulátor alkalmazására is, amelyen költséges és helyigényes ferritcsoport van. Megfelelően nagy 30 teljesítményű plazma létesítésére ezidőszerint két vagy több mikrohullámú generátor teljesítményét összegezik és evégből nagy és bonyolult csőtápvonalas összegező berendezéseket alkalmaznak. A találmány célja olyan mikrohullámú plazmatron létesítése, amelynél az említett hiányosságok már nem. szerepelnek. Evégből olyan mikrohullámú plazmatront kell előállítanunk, amelynél a plazmába átadott teljesítmény növelése a gázkisütő kamra tengelyének környezetében nem okozza a gázhőmérséklet növekedését, két vagy több mikrohullámú generátor teljesítménye csőtápvonalas összegező bérrendezések nélkül adható össze, végül amelynél a mikrohullámú generátor bármilyen üzemmód esetén nagy és költséges ferritcirkulátorok alkalmazása nélkül óvható visszavert teljesítményektől. E feladatot a találmány értelmében olyan mikrohullámú plazmatronnal oldjuk meg, amelynek a gázkisütő kamrán átmenő, legalább egy járulékos, derékszögű csőtápvonala van, ennek falai nagyjából párhuzamosak a másik csőtápvonal falaival, aimikoris a járulékos csőtápvonal és a másik csőtápvonal közötti köz kizárja a csőtápvonalak kölcsönös befolyását. Célszerű, ha az: egymással szomszédos csőtápvonalak széles oldalai egymáshoz viszonyít-162081