160544. lajstromszámú szabadalom • Tökéletesített eljárás lyukmentes vékonyrétegek vákuumpárologtatással történő előállítására
MAGYAR SZABADALMI 160544 NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY É) Bejelentés napja: 1970. II. 27. (MA—2073) Nemzetközi osztályozás; B 01 d 3/10; C 23 c 13/00 T*y^ .,,.,., * ferisf A! •# 41-ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1971. XI. 25. Megjelent: 1973. VI. 30. * ferisf A! •# 41-Feltalálók: Barna Árpád tudományos munkatárs, 30%, Dr. Barna Péter tudományos főmunkatárs, 30%, Dr. Gergely György tudományos osztályvezető, 10%, Pozsgai Imre tudományos segédmunkatárs, 30%, Budapest Tulajdonos: MTA Műszaki Fizikai Kutató intézete, Budapest Tökéletesített eljárás lyukmentes vékonyrétegek vákuumpárologtatással történő előállítására 1 A találmány tárgya eljárás lyukmentes vékonyrétegeik előállítására szigetelő alapon vákuumpárologtatás útján. Az optikai iparban pl. felületi tükrök, fényszűrők és monokromátorok készítésiénél, a félvezető eszközöket gyártó üze- 5 mekiben pl. fémimaszkok, ellenállásrétegek, kondenzátorok készítésiénél kerül sor ilyen eljárások alkalmazására. Mind nagyobb mértékben van szükség olyan vékony '(kb. 0,1 ß vastag) rétegekre, melyek gyakorlatilag lyukmentesek és io mechanikai igénybevétellel szemben is ellenállóak: Az ismert eljárásokkal előállított rétegek minősége e tekintetben nem kielégítő. A selejt mennyiségét nagymértékben befolyásolják a 15 hordozó egyenetlenségei és a felvitt réteg lyukaidása. Pl. még a jóminőségűnak tekintett fémrétegeknél is kb. 20—30 lyuk/cm2 mutatható ki és a mechanikai igénybevételnek kitett rétegekben újabb lyukaik keletkeznek. 20 Eddig az volt a feltevés, hogy a rétegben párologtatás után azért keletkeznek lyukak, mert az eljárás során nem sikerült kellő levegőtisztaságoit biztosítani és a rétegbe 'bekerült szennye- 25 zések .(porszemcsék stb.), amelyek nem kötődnek a rétegben, a rájuk rakodó anyag kötődését is gátolják és így e részek mechanikai behatásra kiválnak l(kiesnek) a rétegből. Ajánlották már, fémrétegek esétán, hogy a réteget tegyék ki utó- 30 lagos mechanikai igénybevételnek, dörzsöljék puha textíliával, s ezt követően párologtassanak rá újabb réteget, esetleg.az igénybevételt és az azt követő újabb párologtatást ismételjék meg tölbbször, miáltal jelentősen mő annak valószínűsége, hogy a szennyeződés okozta lyukak helye is fedett lesz. Ez az ajánlás azonban miindezideig nem vezetett olyan eljárás gyakorlati alkalmazására, mellyel az említettnél lényegesen kisebb lyukadási számot sikerült volna elérni. A találmány szerinti eljárás lehetővé teszi olyan .rétegek előállítását, .amelyek lyuksűrűsége az eddig előállított rétegeknél nagyságrenddel kisebb, vagyis 2—3 lyuk/cm2 , mégpedig nagy felületen és viszonylag mostoha, gyártási körülmények között, ugyanis nem szükséges az eljárás során különleges módszeréket alkalrniazni a levegő portalanítására. Az eljárás egyes lépései biztosítják, hogy a nordozó felületén levő azon szennyező szemcsék száma — amelyek akár a felület-előkészítő műveletek során kerültek a.felüf létre, akár a környezetből szálltak rá pl. porként, s amelyek a továbbiakban leszakadva a réteg lyukadását okozhatják —, az eljárás végén, a kész rétegben már ne haladja meg az emiitett értéket, a 2—3 részecske/em^t. A találmány alapja annak felismerése, hogy a vákuumpárologtatással szokásos módon előállított vékonyrétegek lyukadása a hordozó felüle-160544
