159811. lajstromszámú szabadalom • Eljárás rétegek eltávolítására fénysugár alkalmazásával
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1969. XI. 28. (Sí—1146) Német Szövetségi Köztársaság-beli elsőbbségei: 1968. XI. 29. (P 18 11 864.4) (1—7. és 15. igénypontok), 1968. XII. 02. (P 18 12 187.4) (8—14. igénypontok) Közzététel napja: 1971. VII. 02. Megjelent: 1972. XI. 30. 159811 Nemzetközi osztályozás: B 23 d 79/00; H 01 c 17/00 Feltalálók: Dr. Zapf Carl oki. fizikus, Leonhardt Hermann szakelőadó, Heim Günter oki. fizikus, Regensbung, Német Szövetségi Köztársaság Tulajdonos: Siemens Aktiengesellschaft, Nyugat-Berlin és München, az utóbbi Német Szövetségi Köztársaság Eljárás rétegek eltávolítására fénysugár alkalmazásával 1 A találmány tárgya eljárás rétegek, különösen ellenállásrétegek eltávolítására fénysugár, különösen lézersugár alkalmazásával. Ismert, hogy lézersugarak segítségével fémek és nem fémes anyagok oly módon munkáihatók meg, hogy például a lézerberendezésből kilépő párhuzamos fénynyalábot lencserendszer segítségével gyújtópontban egyesítik és a meg' munkálandó felületet a gyújtópontba helyezik. A teljesítménysűrűség jelenleg elérhető értéke néhány Megawatt/cm2 . Alkalmazható például az ismert folytonos üzemű CO2 lézer, vagy egyéb típusok, mint például az impulzus üzemű rubin lézer. Ismert továbbá az is, hogy a hagyományos, pl. gázkisülési csövekből származó fényenergia, amely nem koherens, és monokromatikus, is alkalmas fókuszolás után anyagok megmunkálására. Amennyiben pl. valamely szigetelő alapra felvitt fémrétegbe nem vezető, elválasztó sávot kell beégetni és emellett nagy előtolási sebességet kívánnak elérni, úgy erre a célra elő^nyösen folyamatosan fényt kisugárzó energiaforrást alkalmaznak. Impulzus üzemben működtetett energiaforrás esetén a folyamatos elválasztó sáv nem lenne minden további nélkül előállítható, hanem változó hosszúságú rész^sávok képződnének és csak igen lassú előtolással lehetne azokból egyetlen összefüggő sávot létrehozni. A teljesítményében egyébként megfelelő és folytonos üzemű CO2 lézer aránylag nagy, 5 10,6 /xm hullámhosszú sugárzást állít elő. Fémek ezzel a lézerrel a nagy visszaverő képesség miatt csak különleges előfeltételek esetén munkáihatók meg, pl. kis geometriai méretek vagy csekély hőelvezetés esetén. Szénrétegek, 10 amelyeket különösen villamos ellenállásoknál nagymértékben alkalmaznak, ezt a sugárzást csaknem teljes mértékben áteresztik. Ezáltal a réteget hordozó test erősen felmelegszik, esetleg megolvad, megrepedezik vagy széttörik, és 15 így használhatatlanná válik. Megmunkálásnál, pl. ellenállásrétegek kialakításánál ügyelni kell arra, hogy a rétegeket előzetesen ne érintsék vagy meg ne sértsék. Elegendő már a kézzel való érintés is ahhoz, 20 hogy a réteg villamos tulajdonságai oly mértékben megváltozzanak, hogy az ellenállás használhatatlanná váljék. A légköri tényezőknek a rétegre gyakorolt hatása az egyes gyártási müveletek közötti tárolási idő folyamán is káros 25 következményekkel járhat, ugyanígy káros hatású a megmunkáló és szortírozó automatáknál fellépő rázódás és ütődés is. Célunk olyan eljárás kialakítása, amelynek segítségével az előzőekben leírt hátrányok kiküszöbölhetők. 30 Célunk tehát, hogy a beégetett sáv teljes hosz-159811
