159444. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vékonyréteg-áramkör előállítására

MAGYAR MÉPKÖZTARSASAG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1967. VIII. 02. (KE—804) Német Demokratikus Köztársaságrbeli elsőbbsége: 1966. VIII. 17. (WP 48 b/119 316) Közzététel napja: 1971. IV. 23. Megjelent: 1972. VI. 30. 159444 Nemzetközi osztályozás: H 01 1 19/00; H 05 k 3/18; H 05 k 3/26 Feltalálók: Dr. Miiemé Otto oki. fémkohász, KlOsterlausnitz, Henneberger Jürgen oki. vegyész, Hermsdorf, Tieze Hannes oki. fizikus, Hermsdorf, Dr. Schiller Siegfried oki. fizikus, Dresden, Heisig Ullrich oki. fizikus, Dresden, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: VEB- Keramische Werke Hermsdorf cég, Hermsdorf /Thür., Német Demokratikus Köztársaság Eljárás vékonyréteg-áramkör előállítására 1 A találmány tárgya eljárás vékonyrétegáramkörök előállítására főiként sík, szigetelő hordozótestieken, pl. üveglapokon. Passzív vékonyréteg-áriamkönÖk előállítása ismert .módon vákuumban, általában különböző, egymást követő, vagy egyidejű rágőzölögtető műveletekkel történik. Szigetelő hordozótesteikként többnyire üveglapokat használnak. Elvileg egyéb szigetelőanyagok, pl. kerámiai vagy műanyagok is használhatók. Oly célból, hogy ilyen vékonyréteges áramköröket hozzanak létre, melyek ellenállásokból, kondenzátorokból és esetleg tekercsekből állanak, különböző alakú, összetételű és vastagságú rétegeket visznek fel. Aktív vékonyréteg^áramkörök esetén (melyek félvezetőelemeket, így tranzisztorokat stib. tartalmaznak) a fentiekhez még félvezetőrétegek is járulnak. Ellenállásrétegekként pl. nikkel-króm ötvözeteket használnak, melyek százalékos összetétele a mindenkori feladiatokhoz igazodik. Alkalmaztak már fémből és kerámiai anyagból álló kompozíciókat is. Az ellenállásrétegeket felvitelük után többnyire hevítik, ami gyakran oxigéntartalmú atmoszférában történik. E művelet folyamán alakul ki a réteg, az oxigén pedig a réteg legfelső részének meghatározott oxidációját okozza. Ezt a műveletet általában temperálásnak nevezik. A szükséges vezetékpályák és érintkezőfelületek kialakításához pl. aranyat, alumíniumot, vörösrezet vagy nikkelt alkalmaznak. A kondenzátorok előállításához három réteg szükséges: két elektróda és egy közbenfekvő dielektrikum. Az elektródák anyaga rendszerint arany vagy aluminium. A dielektrikumot rágőzölögtetéssel vagy egyéb műveletekkel, így pl. oxidáló műveletekkel hozzák létre. Ismeretes továbbá, hogy a nikkel-Ikrám ötvözetekből álló ellenállásokat a jó tapadóképesség és reprodukálható rétegszerikezet biztosítása céljából fokozott hőmérsékletű alaípra rágőzöiögtetik. Ez a hőmérséklet mintegy 300°. Ismeretes, hogy ezeknek a nikkel-lkróm ötvözeteknek igen jó a tapadóképessógük, amit valószínűleg a képződő króm oxidhártya idéz elő. Ezt az ismeretes hatást a vékonyréteges áramkörök előállításánál úgy használjuk ki, hogy a vezetékpályákat, érintkezőlfelületeket és a kondenzátorok elektródáit krómmal vagy króm-ötvözetekkel lalárétegezzük. Ha a nikkel-króm ötvözetet ellenállásrétegfcónt használjuk, akkor többnyire ugyanabban a rágőzölögtető műveletben hozunk létre ellenálMspályákat és ré-25 tegezzük alá a kondenzátorelektródákat. Ennek az eljárási módnak azonban az a hátránya, hogy bonyolult anyagfelviivő maszkokat igényel. Ezt a hátrányt úgy leihet kiküszöbölni, hogy az elektródák tapadórétegét és az ellen-30 állásréteget külön-külön viszik fel. 10 15 20 159444