158818. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés tárcsák leválasztására kemény anyagról

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADAIMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1968. XII. 03. (EE—1804) Német Demokratikus Köztársaság-beli , elsőbbsége: 1967. XII. 04. (WP 67 a/128 712) Közzététel napja: 1970. IX. 28. Megjelent: 1971. XII. 31. 158818 Nemzetközi osztályozás: B 24 b 21/18 Feltalálók: Jähnigen Joachim mérnök, Kranich Werner oki. mérnök, Dresden, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: VEB Elektromat, Dresden, Német Demokratikus Köztársaság Eljárás és berendezés tárcsák leválasztására kemény anyagról A találmány eljárás és berendezés tárcsák leválasztására kemény anyagról, különösen félvezető kristályrúdról. Félvezető kristálytárcsák leválasztására ismeretesek berendezések, amelyek acélszalagokból összerakott választószerszámiból, tükrösítő emulzió felvételére szolgáló kádból, és ide-oda mozgatható munkadarab-lefogóból állnak. A választószerszám tükrösítő emulzióval töltött kádban helytiállóan van elhelyezve. A leválasztandó félvezető kristálytárcsákat a munkadarab befogóba rögzítik és ezzel együtt ide-oda mozgásba helyezik. A leválasztás alatt a kádat és ezáltal a benne levő választószerszámot a munkadarabnak szorítják neki. Ennék a félvezető kristályrúdról tárcsák leválasztására szolgáló szerkezetnek az alkalmazásánál a tárcsák Választó felületein hornyok képződnek. Ezeket felületmegimunkálással kell eltávolítani. Félvezető építőelemek előállításánál a félvezető kristálytárcsáknál okvetlenül kifogástalanul polírozott felületre van szükség úgy, hogy ezt a szerkezetet tárcsák leválasztásaihoz nem lehet alkalmazni. Ismeretes olyan szerkezet is, amelynél a választószerszámot riövidlöketű lengőmozgásba hozzák. A r.övidlöketű lengőmozgás nem elegendő ahhoz, hogy a félvezető tárcsáknál szükséges kifogástalan felületet létrehozza úgy, hogy itt is szükség van utómegmunkálásra. A találmány célja járulékos munkafolyamatok alkalmazása nélkül a drága félvezető anyag és munkaidő megtakarítása, hogy ezáltal a félvezető elemek előállítási költségeit csökkenteni 5 lehessen. A találmány feladata olyan eljárás és az eljárás foganatosításához szükséges berendezés létesítése, amelynek segítségévei kemény anyagot, előnyösen félvezető kristályrudat úgy le-' 10 het tárcsákká szétválasztani, hogy a leválasztott tárcsák felületeit nem kell utólagosan megmunkálni. A találmány érteimélben ezt a feladatot úgy oldjuk meg, hogy a kemény anyagot járulékos 15 iengőmozgásra kényszerítjük úgy, hogy tükrösítő emulziót közvetlenül a leválasztás helyén az anyag és a választószerszám közé vezetjük be. Az eljárás foganatosításához egy berendezést fejlesztettünk ki, amelynek segítségével 20 kemény anyagról kifogástalan felületű tárcsákat lehet leválasztani. Jellemzője, hogy ide-oda mozgatható, azonkívül forgatható munkadarabbefogója van, amely forgó szöghajtással van összekötve. 25 A találmány szerinti eljárással a félvezető kristályrúd leyálasztási helyein tükrösítő emulzió felhalmozást lehet megvalósítani. Ezáltal nemcsak a vágóhatás javul meg, hanem a leválasztandó tárcsák homlokfelületein a felület 20 minősége is javul. 158818