151505. lajstromszámú szabadalom • Eljárás piezoelektromos rezgőelemek vastagságmérettől függő frekvenciájának, illetve vastagságméretének az optikai csiszolás során való mérésére és berendezés ezen eljárás lefolytatására
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI EÍHÁS Bejelentés napja: 1961. XII. 19. (SA—1400) Közzététel napja: 1983. XI. 26. Megjelent: 1965. VII. 01. 151505 Szabadalmi osztály: 21 a4 1—13 Nemzetközi osztály: H 03 b Decimal osztályozás: Feltaláló: Szlávy Aladár üzemvezető, Budapest Tulajdonos: Telefongyár Rt., Budapest Eljárás piezoelektromos rezgőelemek vastagságmérettől függő frekvenciájának, illetve vastagságméretének az optikai csiszolás során való mérésére és berendezés ezen eljárás lefolytatására 1 A találmány tárgya piezoelektromos rezgőelemek vastagságmérettől függő frekvenciájának, illetve vastagságméretének az optikai csiszolás során való mérésére szolgáló eljárás, — valamint berendezés ezen mérési eljárás lefoly- 5 tatására. A vastagságrezgő kristályok, — valamint vastagságrezgő módban is rezgésre hajlamos egyéb kristályok, mint piezoelektromos rezgőéi emek gyártása az alábbi öt műveleti fősza- 10 kaszra különíthető el. A természetes, kvarckristály tengelyrendszerének megállapítása után a kvarctömböt a meghatározott síkkal párhuzamosan felszeletelik, majd a szeletekből meghatározott irányban 15 kimetszett lapok határoló síkjait — adott atomsikokkial bizonyos hajlásszögben — röntgen-reflexiós módszer alkalmazásával becsiszolják {az ún. nyerslapka-gyártás); ezután a nyerslapkákból az optikai iparban alkalmazott 20 csiszolási eljárással a kívánt méretű kristályokat előállítják, különös gonddal ügyelve arra, hogy az ezen eljárás során előállított sík a röntgen-reflexiós módszerrel becsiszolt síkhoz képest párhuzamos maradjon; ez a művelet a 25 síktárcsára illesztett kristályokon csoportosan történik l(az ún. optikai csiszolás); ezt követően ^mechanikai méretre kész kristályokat egyenkint kézi finomcsiszolóban — az ún. léppolóban —-' történő csiszolássá1 , majd fluórsavban 30 való maratással a kívánt frekvenciaértékre állítják be [(egyedi frekvencia-előbeállítás); majd az így előbeállított kristályokra vákuum-porlasztással (nemes) fémelektródákat visznek fel és kivezető elektródákat erősítenek, végül az elektródákkal ellátott kristályt tartóállványra erősítik, a kristály frekvenciáját a névleges értékre helyesbítik és a kész kristályegységet burába zárják. Ennek az összetett eljárásnak a során a kristály lapjainak párhuzamossága döntő működési és minőségi követelmény: ez ugyanis egyrészt az ún. veszteségi ellenálláson ós a jósági tényezőn („Q"-faktor) keresztül a kristály rezgési készségére —, másrészt az egyszerre •— egy síktárcsán — készülő kristályok frekvenciáinak egymásközötti „szórására", valamint a röntgen-szögre csiszolt felülettel való párhuzamos csiszolás során előálló szögeltérésen keresztül a kristály ún. 'hőfoktényezőjére i(ia kristály frekvenciájának a hőmérséklettől való függésére) van befolyással. A második gyártási szakaszban — az optikai csiszolás során — elért kristálylap-párhuzamossiág a frekvenciára csiszolás során — tehát az egyedi leppolóban végzett harmadik gyártási szakaszban — leromlik, ami a felsorolt paraméterek tekintetében a piezoelektromos kristály minőségi romlását, vagy egyes esetekben a kristálylap használhatatlanná válását vonhatja maga után. 151505
