148718. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés vékony lemezek vastagságának mérésére és/vagy azok vastagság szerinti osztályozására

Megjelent: 1961. november 30. ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS 148.718. SZÄM 42. b. 17—26. OSZTÁLY — EE—778. ALAPSZÁM SZOLGALATI TALÄLMÄNY Eljárás és berendezés vékony lemezek vastagságának mérésére és/vagy azok vastagság szerinti osztályozására Egyesült Izzólámpa és Villamossági K. T., Budapest Feltalálók: dr. Szép Iván vegyész, Schalk Ervin mérnök és Szűcs Tibor mérnök, budapesti lakosok A bejelentés napja: 1960. június 17. Különböző félvezető anyagokból készült eszközök, pl. tranzisztorok gyártásánál a kiindulási anyagként szolgáló germánium lemezkék vastagságának egyenletessége elengedhetetlen 'előfeltétele a kész termékek egyenletes minőségének. A kristálylemezek rendkívül rideg volta és kis vastagsága olyan érintésmentes mérési eljárás kidolgozását tette szükségessé, amely a kristály lemez elektromos jellemzőitől függetlenül teszi lehetővé a mérés végrehajtását. Ezen feltétel miatt a kapacitív mérési eljárás sem használható. Találmányunk oly eljárásra és berendezésre vonatkozik, amely vékony (kristály) lemezek vastagságát optikai úton a mért értékeket elektromos jellé átalakítva azokat vagy műszerrel mutatja, vagy akár egyidejűleg is, osztályozó automata vezérlésre használja fel. Optikai rendszer gyanánt egy önmagában isimert, Scbmaltz-féle fénymetszéses optikai rendszer szolgál, melynek képsíkjában találmányunk szerint fényrekeszt mozgatunk, mellyel az optikai rendszer által alkotott képet letapogatjuk, a letapogatott képet áramimpulzusokká alakítjuk át és a kapott impulzusokkal vezéreljük a mérő és/vagy osztályozó berendezést. Találmányunk eljárás vékony lemezek vastagságának mérésére önmagában ismert fénymetszéses (Schmaltz-féle) optikai rendszerrel, mely azzal van jellemezve, hogy ezen optikai rendszer képsíkjában mozgó fényrekesszel az optikai rendszer által alkotott képet letapogatjuk, a letapogatott képet áramimpulzusokká alakítjuk és a kapott impulzusokkal vezéreljük a mérő és/vagy osztályozó berendezést. A találmányunk szerinti eljárás végrehajtása során a mérendő lemezkéket adagoló és továbbító rendszer segítségével egyenként és célszerűen szabályos időközökben juttatjuk a mérési térbe,- onnan tovább egy osztályozó rendszerbe, melyet az említett, a mérési eredménytől függő vezérlő jelek oly módon tartanak üzemben, hagy az az azonos, vagy közel azonos vastagsági méretcsoportba tartozó lemezeiket külön-külön! tárolja. A találmányunk szerinti eljárást végrehajthatjuk úgy, hogy a fényre!kesz(eke)t a leképezési mezőn való áthaladásuk ideje alatt egyenletes sebességgel mozgatjuk. A találmányunk szerinti eljárást végrehajthatjuk úgy is, hogy a fén:yrekesz(eke)t a leképezési mezőn való áthaladásuk ideje alatt meghatározott változó — célszerűen exponenciális törvényszerűség szerinti lassuló — sebességgel mozgatjuk. A találmányunk szerinti eljárás egyik foganatosítási módjánál az impulzusok időbeli távolságát bistabil multivibrator segítségével alakítjuk át olyan impulzusokká, melyeknek szélességét az impulzusok időbeli távolsága határozza meg. A találmányunk szerinti eljárás egy további foganatosítási módjánál a számláló és vezérlő egységet úgy állítjuk be, hogy az az impulzusok időbeli távolságával arányos mérő és/vagy vezérlő jelet adjon ki, és ezen jelek azzal vannak jellemezve, hogy az első impulzus egy szabályos időközönként fellépő impulzussorozatot, vagy meghatározott frekvenciájú rezgéssorozatot indít és/vagy kapuz, a második impulzus felléptéig, és ezáltal a két impulzus között lejátszódó rezgési folyamatot (impulzusokat) összegezve a kristályvastagsággal arányos jelet nyerünk. A találmányunk szerinti eljárás foganatosítására szolgáló berendezés jellemezve van egy fénymetszéses optikai rendszerrel, ezen rendszer által alkotott kép letapogatására szolgáló és az optikai rendszer képsíkjában előre meghatározott törvényszerűség szerinti mozgatott íényrekesszel, a letapogatott képet elektromos impulzusokká átf*Rlakító fényelektromos eszközzel, az elektromos impulzusokat felerősítő és azok időbeli távolsá-