146473. lajstromszámú szabadalom • Eljárás kopásálló és lyukacsosságmentes gőzölögetett tükörfelületek előállítására

<r Megjelent: 1960. március 15. ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS 146.473. SZÁM 48. b. 11—13. OSZTÁLY — SA—1157. ALAPSZÁM SZOLGALATI TALÄLMÄNY Eljárás kopásálló és lyukacsosságmentes gőzölögtetett tükörfelületek előállítására Optikai és Finommechanikai Központi Kutató Laboratórium, Budapest Feltalálók: Sz. Szabó Sándor és Juhász István, Budapest A bejelentés napja: 1958. október 7. A felületi tükrök az optikai és finommechanikai iparban egyre szélesebb területen kerülnek felhasználásra. Alkalmazhatóságukat nagymértékben korlátozta az a körülmény, hogy külső behatásokkal szemben rendkívül érzékenyek voltak. Sokszor egy ujjlenyomat is elegendő volt ahhoz, hogy az egész tükör hasznovehetetlenné váljék, amin csak új tükrözőfelület felvitelével lehetett segíteni. A felületi tükröknek ezt a hátrányos tulajdonságát különböző védőrétegekkel igyekeztek csökkenteni, több-kevesebb sikerrel. Azonban olyan helyeken, ahol külső behatások veszélyének ki voltak téve, továbbá is csak hátsó tükrözésű üvegtükröket lehetett alkalmazni. Az eddig alkalmazott fent említett védőrétegek ugyanis, mint pl. magnéziumfluor id, kriolit, sziliciummonoxid stb. a nedves tisztítást (víz, alkohol, lehelet istb.) sem bírták el, sőt nedves ujjlenyomattól is tönkremehettek. Ezenfelül, ami a legsúlyosabb, kedvezőtlenül befolyásolták a tükörfelület reflexióját és abszorbcióját is. A találmány szerinti eljárással készített felületi tükrök ezen a területen ugrásszerű változást jelentenek. Az eljárást egyrészt sem a tükörfelület reflexióját, sem abszoirbcióját nem befolyásolja, másrészt az ily módon készített tükrök szárazon, nedvesen csaknem ugyanúgy dörzsölhetők és tisztíthatók, mint egy hátsótükrözésű üvegfelület, A találmány szerinti eljárás egyrészt azon a körülményen alapszik, hogy megfelelő tisztaságú alumínium felületén, oxigéndús környezetben minden további beavatkozás nélkül nagy ellenállóképességű külső védőréteg (AI2O3) keletkezik, másrészt a felgőzölt fémrétegeknek ionbombázással való kialakításán. A találmány lényege az az eljárás, amely tükörfelületeknek vákuumban való Mgőzölögtetésénél a kívánt ellenállóképességű védőréteg keletkezését és a felgőzölögtetett fémréteg megfelelő tömöttségét, tehát a lyukacsosságmentességét biztosítja. E szerint az eljárás szerint .az elérni kívánt eUenállóképességnek megfelelően a. gőzölögtetést több szakaszban végezzük el és az egyes szakaszokban elgőzölögtetett alumíniumrétegek felületét néhány percig tartó ionbombázásnak tesszük ki (a továbbiakban ionozunk), majd néhány percig elegendő oxigén vagy levegő jelenlétével biztosítjuk az AI2O3 védőréteg kialakulását. Példaként tisztán alumíniumnak üvegfelületre való felgőzölögtetésénél az eljárás a következő: Az üvegfelületet vákuumgőzölés előtt a szokásos módon megtisztítjuk és a bura alá helyezzük. A gőzölögtetést elsőízben két szakaszban végezzük el és ennek megfelelően két külön izzítható wolfrámspirált kell a bura alá készíteni. Az egyikre 2 db 1 mm átmérőjű, 9—10 mm hosszú Al (99,99 százalékos tisztaságú) lovast teszünk, ami kb. 50—60 százalékos fényáteresztőképességű felület felgőzölögtetésére elegendő. A másikra kb. 10—12 db ugyanilyen lovast helyezünk a teljes tükörfelület felgőzölögtetósének megfelelően. A burát lezárva 10~2

Hgmim-re leszívatjuk és elvégezzük a szokásos 5—10 percig tartó ionozást. Ezután a vákuumot 10~4

Hgmm-re növelve elgőzölögtetjük az 50—60 százalékos fényáteresztésű réteget, majd teljesen lelevegőzzük a burát, azaz megszüntetjük a vákuumot, hogy az oxigéndús légtérbei} AI2O3 védőréteg kialakulhasson. Ez a folyamat általában 4—5 perc alatt magától végbemegy. Közben a burát nem emeljük fel, nehogy a külső szennyeződés a tükröző felületre jusson. 4—5. perc elteltével a levegőt ismét leszívatjuk 10~4

Hgmm-re s akkor gőzölögtetjük fel a teljes tükörfelületet, majd teljesen megszüntetve a vákuumot, kialakul az újabb védőréteg és utána a bura alól a tükröt kiszedjük. A fent ismertetett eljárással készített tükörfelületeket újabb tisztítási, folyamatnak vejük alá,, amely állhat alkoholos tetrapelerikával való letörülgetésből, vagy kézi fúvatóból levegővel való többszöri ráfúvatásból és alkoholba való mártásból. Ez után a művelet után a tükröket a bura alá helyezzük és a fentebb ismertetett eljárással újra rágőzölünk, vagyis megismételjük az elsőízbeni műveletet. Ezzel az eljárással igen kemény