125982. lajstromszámú szabadalom • Akromatikus elektronoptikai rendszer

Megjelent 1941. évi .január hó 15-én. MAGYAR KIRÁLYI «toll SZABADALMI BTRÓ8Á"6 SZABADALMI LEÍRÁS 125982. SZÁM. VII/d. (VII/j.) OSZTÁLY. — M 3093. ALAPSZÁM. Akromatikus elektronoptikai rendszer. Allgemeine Elektricitäts Gesellschaft, Berlin. Pótszabadalom a 120550. számú törzsszabadalomhoz. A pótszabadalom bejelentésének napja 1937. évi április hó 24. Németországi elsőbbsége 1936. évi április hó 25. A 120550. sz. törzsszabadalom 14. igénypontja elektrontükröknek elektronlencsékkel való kombinációjára vonatkozik, melynél az egyes leképező elemek 5 kromatikus hibái egymást kölcsönösen megszüntetik. Hogy effajta kombinációval elektronoptikai akromatikus rendszereket állíthatunk elő, azon alapszik, hogy a gyorsabb elektronok a nagyobb 10 sebességük miatt az elektrontükörbe mélyebben hatolnak be és az elektronlendsékkel ellentétben ottan nagyobb mértékben befolyásolódnak, mint a lassú elektronok. 15 A találmány értelmében a törzsszab-idalomban leírt elrendezéssel mind a primer, mind pedig a visszaverődésnél vagy átsugárzásnál sebességveszteséggel vagy anélkül szórt elektronokat is felhasznál-20 juk a leképezésnél. Eme eljárás alkalmazásával, mely csupán akromatikus elektronoptikai rendszerek felhasználásával válik lehetővé, az elektronoptikai leképezésnél a lehető legnagyobb teljesit-25 ményt és ezzel a legnagyobb megvilágítási fokot érhetjük el. A rajz a találmány szerinti elrendezés néhány kivitelét mutatja, mellyel a találmány értelmében az akromatikus elek-30 tronoptikai leképezés a iegeredménj'csebb Az 1. ábrán (1) az eiektrontükör, mely pl.szilárd (2) hátlemezből és előfeszültségre kapcsolt (3) rekesztől állhat. A tükcr előtt egyenletes (homogén) (4) mágneses 35 mező van, melynek erővonalai a raiz síkjára és ezzel a tükör optiKai itngei\eie is merőlegesek. Ha a (6) elektronlencsén áthaladó (5) elektronsugár az (1) tükörre esik, akkor a visszavert (7) elektronsugár az (5) elektronsugárral a tükör felületén 40 0 szöget zár be, Ez az elrendezés, mely a fényoptikában nem lehetséges, az elektronkihasználás hatásfokát még inkább növeli, mert a tükörfelület a képtorzulása nélkül teljesen kihasználható. 45 A 2. ábrán a fényoptika viszonyai sze rint lehetőleg szimmetrikus az elrendezés A (8) tárgyról elektronsugarak a (9) lencsén át a (10) elektrontükör felé jutnak, amely azokat további (11) elektron- 50 lencsére tereli, mely sugarak végül a (12) felfogón leképződnek. A találmány értelmében a (8) tárgyról kiinduló valamennyi elektront felhasználjuk a leképezéshez, tekintet nélkülarra, hogy ez maga emittál 55 elektronokat, vagy átvilágított fólia, vagy pedig elektronokat visszaverő felület, amikoris a primer és a szekunder elektronoknak különböző sehcsségük lehet. ' «o Szabadalmi igénypontok: 1. A 120.550 sz. törzsszabadalom 14. igénypontja szerinti elektronoptikai rendszert alkalmazó eljárás, elektronoptikai akromatikus leképzésre, elek- 55, tronlükrök és elektronlencsék együttes felhasználásával, melyre jellemző, hogy mind a primer, mind pedig a